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公开(公告)号：CN106926117A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710133438.0
申请日：2017-03-08
Applicant: 燕山大学
IPC: B24B37/30
CPC classification number: B24B37/30
Abstract: 本发明公开一种单面精密研磨机用真空吸附式下研磨盘，适用于对超薄航空太阳能玻璃盖片的研磨作业，包括真空吸附装置、下研磨盘装置、支撑装置和带轮，下研磨盘装置包括基盘和镜盘，基盘嵌装于镜盘内，基盘上表面与镜盘上表面齐平，基盘上分布的多个五孔式通孔可将多个待处理的玻璃盖片覆盖其上，镜盘上设有气道与基盘上的通孔连通，真空吸附装置和下研磨装置内部孔道构成气体流动通道，工作时，真空泵通过气体流动通路吸附基盘上表面玻璃盖片，之后进行研磨作业。本发明作业前不需要用胶水黏贴固定玻璃片，加工效率高，作业完成后取下玻璃盖片时间短，不会对玻璃盖片造成损坏，加工之后的玻璃盖片薄厚均匀，无压痕，透光性好，适用于成批量生产。
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