公开(公告)号：CN111819653B

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN201880049931.7

申请日：2018-07-24

Applicant: 火花热离子学公司 ,  宾夕法尼亚大学理事会

Inventor： 贾瑞德·威廉·施韦德 ,  伊戈尔·巴尔加汀 ,  塞缪尔·M·尼凯斯 ,  林晨 ,  约翰·普罗文

IPC: H01J1/88

Abstract: 小间隙设备系统优选地包括两个或更多个电极和保持在两个或更多个电极之间的间隙的一个或更多个隔离物。用于小间隙设备系统的隔离物优选地包括限定网状结构的多个腿部。隔离物和/或小间隙设备的制造方法优选地包括：限定横向特征、沉积隔离物材料、选择性地去除隔离物材料、使隔离物与制造基底分离和/或组装小间隙设备。

公开(公告)号：CN111819653A

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：CN201880049931.7

申请日：2018-07-24

Applicant: 火花热离子学公司 ,  宾夕法尼亚大学理事会

Inventor： 贾瑞德·威廉·施韦德 ,  伊戈尔·巴尔加汀 ,  塞缪尔·M·尼凯斯 ,  林晨 ,  约翰·普罗文

IPC: H01J1/88

Abstract: 小间隙设备系统优选地包括两个或更多个电极和保持在两个或更多个电极之间的间隙的一个或更多个隔离物。用于小间隙设备系统的隔离物优选地包括限定网状结构的多个腿部。隔离物和/或小间隙设备的制造方法优选地包括：限定横向特征、沉积隔离物材料、选择性地去除隔离物材料、使隔离物与制造基底分离和/或组装小间隙设备。