公开(公告)号：CN103474374A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201310221725.9

申请日：2013-06-05

Applicant: 澁谷工业株式会社

Inventor： 渡辺大辅 ,  扇田政和 ,  池田和生 ,  石崎康隆 ,  大堺智司

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提供一种修复装置，其无须花费时间便可取得精确的搭载错误位置信息，进一步，使修正机构根据详细位置信息修正搭载错误，即使是以狭小间隔排列微小球的工件，也能够进行高精度修复。搭载微小球的工件的修复装置采用以下机构。第1，搭载错误检查机构由以下构件所构成：第1检查机构，其取得搭载错误的第1概略位置信息；以及第2检查机构，其根据该第1检查机构所取得的第1概略位置信息，从包含该第1检查机构所检测到的搭载错误在内的规定区域影像取得第2详细位置信息。第2，修正机构是根据第2详细位置信息修正搭载错误。

公开(公告)号：CN103474374B

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201310221725.9

申请日：2013-06-05

Applicant: 澁谷工业株式会社

Inventor： 渡辺大辅 ,  扇田政和 ,  池田和生 ,  石崎康隆 ,  大堺智司

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提供一种修复装置，其无须花费时间便可取得精确的搭载错误位置信息，进一步，使修正机构根据详细位置信息修正搭载错误，即使是以狭小间隔排列微小球的工件，也能够进行高精度修复。搭载微小球的工件的修复装置采用以下机构。第1，搭载错误检查机构由以下构件所构成：第1检查机构，其取得搭载错误的第1概略位置信息；以及第2检查机构，其根据该第1检查机构所取得的第1概略位置信息，从包含该第1检查机构所检测到的搭载错误在内的规定区域影像取得第2详细位置信息。第2，修正机构是根据第2详细位置信息修正搭载错误。