一种超声手术刀表面磁控溅射制备涂层的方法

    公开(公告)号:CN116641030A

    公开(公告)日:2023-08-25

    申请号:CN202310653921.7

    申请日:2023-06-05

    Abstract: 本发明公开了一种超声手术刀表面磁控溅射制备涂层的方法,所述超声手术刀的基体采用钛合金,具体包括以下步骤:S1.对基体表面进行预处理;S2.装材:将步骤S1预处理后的基体安装在样品旋转架上放入磁控溅射镀膜腔;S3.辉光清洗:对基体进行等离子辉光清洗;S4.中间涂层制备:以Al靶材作为溅射原材料,Ar气作为溅射气体,采用磁控溅射制备中间层Al涂层;S5.涂层制备:以Al靶材、AlN靶材同时作为溅射原材料,Ar气作为溅射气体,采用磁控溅射在中间层Al涂层上制备AlN‑Al涂层,所述AlN‑Al涂层中Al的质量分数含量为1%‑2%。本发明使用Al过渡层作为涂层与基材之间的中间层,解决了两者之间的结合强度问题;Al元素在薄膜中的掺杂成功地解决了AlN涂层的摩擦系数高的问题。

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