公开(公告)号：CN119534916A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411752712.9

申请日：2024-12-02

Applicant: 湖南大学

Inventor： 姜潮 ,  陈盼 ,  姚中洋

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/125 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明公开了一种低温漂硅谐振加速度计结构，涉及惯性导航的技术领域，该结构包括：中间层、上层玻璃盖板和下层玻璃盖板；上层玻璃盖板和下层玻璃盖板分别盖在中间层的外框架两侧与之键合，使中间层真空封装；将谐振器的支撑点设计在加速度计中间层的几何中心，通过谐振器中心支撑梁将中心锚点、放大杠杆结构与双端固定音叉式谐振器连接，驱动检测梳齿测量出受惯性力影响后的谐振频率，向外部引出频率信号，表征加速度大小；在本发明的设计中，中间层的测量结构仅用一个支撑点与外壳固定，显著降低了热应力对加速度计性能的影响，该设计使得加速度计在温度变化时，双端固定音叉式谐振器接近自由热膨胀状态，从而保持稳定的频率响应。

公开(公告)号：CN118656697A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202410723439.0

申请日：2024-06-05

Applicant: 湖南大学

Inventor： 姜潮 ,  陈盼 ,  姚中洋

IPC: G06F18/241 ,  G01P15/08 ,  G06F18/213 ,  G06F123/02

Abstract: 本发明公开了一种精准识别硅谐振加速度计谐振频率的方法，步骤为：步骤1，根据硅谐振加速度计模态特性构建硅微谐振加速度计谐振器的幅频特性曲线模型；步骤2，基于黄金分割算法寻找幅频曲线的幅值极大值点；步骤3，基于直接数字频率合成的原理实现黄金分割算法；步骤4，通过数值仿真验证了该方法的准确性和可行性。针对传统依据硅谐振加速度计输出幅值满足人为设定的幅值阈值来识别谐振频率的扫频方案中，存在的识别谐振频率准确度不高，人为影响因素较大的问题，本发明根据硅谐振加速度计谐振器幅频特性模型，基于黄金分割算法和数字频率合成原理，提升了谐振频率识别准确度，确保硅谐振加速度计处于正常谐振工作状态。

公开(公告)号：CN119470970A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411873356.6

申请日：2024-12-18

Applicant: 湖南大学

Inventor： 姜潮 ,  姚中洋 ,  陈盼

IPC: G01P15/097 ,  G01C21/16

Abstract: 本发明属于精密传感器技术领域，公开了一种基于杠杆差分的新型硅谐振加速度计结构；该结构包括上中下三层，中间层为单晶硅微机械结构，包含质量块、放大杠杆结构、双端固定音叉式谐振器等；通过中心锚点和两种传力方向相反的放大杠杆结构，实现了两个谐振器受力差分，减少了支撑锚点数量，使谐振器在温变工况下处于热膨胀自由状态，降低了热应力影响，提高了温度性能；同时，缩减了应力隔离框面积，降低了加工工艺难度，推动了硅谐振加速度计向超精密系统的工程化应用。

公开(公告)号：CN118656697B

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202410723439.0

申请日：2024-06-05

Applicant: 湖南大学

Inventor： 姜潮 ,  陈盼 ,  姚中洋

IPC: G06F18/241 ,  G01P15/08 ,  G06F18/213 ,  G06F123/02

Abstract: 本发明公开了一种精准识别硅谐振加速度计谐振频率的方法，步骤为：步骤1，根据硅谐振加速度计模态特性构建硅微谐振加速度计谐振器的幅频特性曲线模型；步骤2，基于黄金分割算法寻找幅频曲线的幅值极大值点；步骤3，基于直接数字频率合成的原理实现黄金分割算法；步骤4，通过数值仿真验证了该方法的准确性和可行性。针对传统依据硅谐振加速度计输出幅值满足人为设定的幅值阈值来识别谐振频率的扫频方案中，存在的识别谐振频率准确度不高，人为影响因素较大的问题，本发明根据硅谐振加速度计谐振器幅频特性模型，基于黄金分割算法和数字频率合成原理，提升了谐振频率识别准确度，确保硅谐振加速度计处于正常谐振工作状态。