公开(公告)号：CN101135659A

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200610032169.0

申请日：2006-09-01

Applicant: 湖南大学

Inventor： 王太宏 ,  丰平 ,  张杰 ,  万青 ,  许春梅 ,  薛欣宇 ,  刘永刚 ,  虞红春

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种β－Ga2O3纳米线及其气体传感器的制备和实现快速响应的气体传感方法。纳米线制备是：在硅衬底上沉积金膜；将镓颗粒放入舟中，衬底放在距舟适当处，加热、保温；加热炉内通氮气；炉冷却到室温后，产物在衬底上生成；传感器制备是：一定厚度金电极沉积到有SiO2层的硅衬底上，两电极距离约1μm；将单根纳米线放到电极上；引线连接，再经老化处理。传感器的快速氧气响应：开始时，纳米线中自由载流子浓度很低，通过氧调节其电导非常弱，在紫外光光照下，通过纳米线的电流增加到一定值，短时间反映了氧气浓度；光照关闭后，光生载流子迅速再结合，光驱动氧气传感特性消失。传感器响应时间快、灵敏度高，适合于规模化的工业生产。