公开(公告)号：CN116577367A

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN202310538675.0

申请日：2023-05-15

Applicant: 湖南大学

Inventor： 王清雨 ,  陈艺勤 ,  段辉高 ,  纪志强

IPC: G01N23/2251 ,  C23C14/34 ,  C23C14/18 ,  C23C14/20

Abstract: 本申请提供一种在绝缘衬底上高保真表征芯片形貌的SEM模拟检测方法，在绝缘衬底表面以光刻胶为材料制作微纳结构，然后通过薄膜沉积技术在微纳结构表面沉积金属薄膜，金属薄膜和微纳米结构以共形的方式形成连续完整的膜结构，该金属薄膜在微纳结构上可以达到高保真度并且薄膜表面平整、无颗粒，以该金属薄膜作导电层可以实现微纳结构在绝缘衬底表面上的SEM测量，完成对绝缘衬底形貌的高保真度表征，从而为半导体芯片的检测提供理论的依据。

公开(公告)号：CN221242040U

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202323141372.X

申请日：2023-11-20

Applicant: 湖南大学

Inventor： 杨钦文 ,  王旭 ,  张志康 ,  钟振鹏 ,  王清雨 ,  肖罡

IPC: A47B21/04 ,  A47B21/06 ,  A47B9/00 ,  A47B13/02 ,  G05D1/43 ,  G05D1/622

Abstract: 本申请公开了一种基于智能小车的多功能办公桌，包括智能小车和办公桌，所述智能小车位于办公桌上且相对于办公桌可移动，所述智能小车包括信息感知装置，所述信息感知装置包括摄像头和话筒，所述办公桌包括信息处理装置、抽屉开闭装置、无线充电装置和桌腿升降装置，所述信息处理装置分别与信息感知装置的摄像头和话筒、抽屉开闭装置、无线充电装置和桌腿升降装置无线连接。本申请具有避免摄像头被障碍物遮挡的优点。