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公开(公告)号：CN113219050B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110766441.2
申请日：2021-07-07
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明提供了一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，从下至上依次为：压电衬底、叉指电极以及氧化石墨烯‑ZnO纳米线‑石墨烯量子点复合结构敏感层。本发明的有益效果如下：高灵敏、易于检测以及工艺简单，在相对湿度区间为45%‑50%之间达到了148.61 kHz/%RH的超高灵敏度。
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公开(公告)号：CN118566334B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411044600.8
申请日：2024-08-01
Applicant: 湖南大学
IPC: G01N29/02
Abstract: 本发明公开了一种室温声表面波甲醛传感器及其制备方法和应用，属于气体传感器技术领域，该室温声表面波甲醛传感器包括铌酸锂衬底、设置于所述铌酸锂衬底上的两个平行且间隔设置的叉指换能器以及涂覆于所述铌酸锂衬底上并位于两个所述叉指换能器之间的聚(3,4‑亚乙二氧基噻吩):聚(苯乙烯磺酸)‑二硫化钼/氧化铟敏感层。本发明在室温下便能够对甲醛气体具有优异的气敏性能，显著提高了声表面波甲醛传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN118566334A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202411044600.8
申请日：2024-08-01
Applicant: 湖南大学
IPC: G01N29/02
Abstract: 本发明公开了一种室温声表面波甲醛传感器及其制备方法和应用，属于气体传感器技术领域，该室温声表面波甲醛传感器包括铌酸锂衬底、设置于所述铌酸锂衬底上的两个平行且间隔设置的叉指换能器以及涂覆于所述铌酸锂衬底上并位于两个所述叉指换能器之间的聚(3,4‑亚乙二氧基噻吩):聚(苯乙烯磺酸)‑二硫化钼/氧化铟敏感层。本发明在室温下便能够对甲醛气体具有优异的气敏性能，显著提高了声表面波甲醛传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN113219050A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110766441.2
申请日：2021-07-07
Applicant: 湖南大学
Abstract: 本发明提供了一种超高灵敏度声表面波湿度传感器，从下至上依次为：压电衬底、叉指电极以及氧化石墨烯‑ZnO纳米线‑石墨烯量子点复合结构敏感层。本发明的有益效果如下：高灵敏、易于检测以及工艺简单，在相对湿度区间为45%‑50%之间达到了148.61 kHz/%RH的超高灵敏度。
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