公开(公告)号：CN120063119A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202510535728.2

申请日：2025-04-25

Applicant: 湖北江城实验室

Inventor： 邵任之

IPC: G01B11/00 ,  H01L21/67 ,  H01L23/544 ,  H01L21/68

Abstract: 本申请实施例提供一种晶圆对准量测装置及量测方法、键合装置以及半导体结构，对准量测装置包括：光源组件、分光件、偏振件和成像组件；光源组件用于提供沿第二方向传播的原始光线；分光件用于基于偏振方向反射原始光线；其中，反射的光线为具有第一偏振方向的第一光线；第一光线沿第一方向经偏振件传播至位于第一晶圆的第一对准标记，并透过第一晶圆传播至位于第二晶圆的第二对准标记；经第一对准标记和第二对准标记反射的第二光线经偏振件后具有第二偏振方向；具有第二偏振方向的第二光线沿第三方向透射分光件传播至成像组件；成像组件用于采集第二光线形成的第一莫尔条纹；第一莫尔条纹用于确定第一对准标记和第二对准标记是否对准。

公开(公告)号：CN119764216A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202411890812.8

申请日：2024-12-20

Applicant: 湖北江城实验室

Inventor： 邵任之

IPC: H01L21/67 ,  G01L13/00 ,  H01L21/66

Abstract: 本申请涉及集成电路领域，公开了一种晶圆测量装置、方法和晶圆键合设备。晶圆测量装置包括：气压式测量模块和数据处理模块。气压式测量模块包括：测量气路、参考气路、参考平面和差分压力计。测量气路上设置有测量节流阀，测量气路的末端设置有测量喷嘴。参考气路上设置有参考节流阀，参考气路的末端设置有参考喷嘴。测量气路的始端和参考气路的始端，均连接至气源。差分压力计的第一端，连接至测量节流阀和测量喷嘴之间的测量气路前段；差分压力计的第二端，连接至参考节流阀和参考喷嘴之间的参考气路前段。