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公开(公告)号：CN117826541A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410045349.0
申请日：2024-01-11
Applicant: 湖北江城实验室
Abstract: 本公开实施例提供了一种光刻机的清洁方法，光刻机包括载台、设置于载台上方的物镜以及用于提供曝光光束的曝光光源，载台上附着有污染物；清洁方法包括：提供控片，将控片置于载台上；对控片执行曝光工艺，曝光光源通过物镜向控片辐射曝光光束以加热控片，控片将热量传递至附着在载台上的污染物，以降低污染物与载台之间的粘附性。
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