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公开(公告)号:CN107860713A
公开(公告)日:2018-03-30
申请号:CN201711079175.6
申请日:2017-11-06
Applicant: 湖北工程学院
Abstract: 本发明实施例提供一种光谱稳定性优化装置、系统和方法,该光谱稳定性优化装置应用于包括激光器和载物台的LIBS系统中,所述光谱稳定性优化装置包括光束整形器;所述光束整形器设置于所述激光器与所述载物台之间,且所述光束整形器与所述载物台和所述激光器共线;其中,所述光束整形器用于对由所述激光器发射的高斯光束进行整形,并使得整形后形成的均匀平顶光束入射至所述载物台上的样品靶材。本发明通过对光谱稳定性优化装置和系统的巧妙设计,能够通过调节光束整形器的状态获得稳定的等离子体,且本发明实现简单,操作方便。
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公开(公告)号:CN107860713B
公开(公告)日:2020-12-15
申请号:CN201711079175.6
申请日:2017-11-06
Applicant: 湖北工程学院
Abstract: 本发明实施例提供一种光谱稳定性优化装置、系统和方法,该光谱稳定性优化装置应用于包括激光器和载物台的LIBS系统中,所述光谱稳定性优化装置包括光束整形器;所述光束整形器设置于所述激光器与所述载物台之间,且所述光束整形器与所述载物台和所述激光器共线;其中,所述光束整形器用于对由所述激光器发射的高斯光束进行整形,并使得整形后形成的均匀平顶光束入射至所述载物台上的样品靶材。本发明通过对光谱稳定性优化装置和系统的巧妙设计,能够通过调节光束整形器的状态获得稳定的等离子体,且本发明实现简单,操作方便。
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