公开(公告)号：CN103267494A

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201310188969.1

申请日：2013-05-20

Applicant: 湖北工业大学

Inventor： 王选择 ,  杨练根 ,  周浩 ,  刘丙康 ,  夏阳 ,  何浪 ,  管鑫

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及表面形貌测量领域，公开了一种基于多波长轮换与相移扫描相结合的表面形貌干涉测量的方法及装置。本发明的方法包括以下步骤：1：启动光源；2：进行图像采集；3：切换光源；4：判断光源切换是否完成，如果否，则执行步骤2；如果是，则改变参考镜的位置，并采集不同波长激光在不同的参考镜位置下的干涉信号；5：判断采集是否完成，如果否，则执行步骤1；如果是，则进行图像信号处理、样品形貌参数计算及显示。本发明的装置包括：光源单元、干涉显微测量单元、图像采集单元、多波长切换单元、压电陶瓷PZT驱动单元、图像处理与控制单元；本发明充分利用了波长扫描与相移扫描两种测量方法的优点，实现了表面形貌的高精度绝对测量。

公开(公告)号：CN103267494B

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201310188969.1

申请日：2013-05-20

Applicant: 湖北工业大学

Inventor： 王选择 ,  杨练根 ,  周浩 ,  刘丙康 ,  夏阳 ,  何浪 ,  管鑫

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及表面形貌测量领域，公开了一种基于多波长轮换与相移扫描相结合的表面形貌干涉测量的方法及装置。本发明的方法包括以下步骤：1：启动光源；2：进行图像采集；3：切换光源；4：判断光源切换是否完成，如果否，则执行步骤2；如果是，则改变参考镜的位置，并采集不同波长激光在不同的参考镜位置下的干涉信号；5：判断采集是否完成，如果否，则执行步骤1；如果是，则进行图像信号处理、样品形貌参数计算及显示。本发明的装置包括：光源单元、干涉显微测量单元、图像采集单元、多波长切换单元、压电陶瓷PZT驱动单元、图像处理与控制单元；本发明充分利用了波长扫描与相移扫描两种测量方法的优点，实现了表面形貌的高精度绝对测量。