一种填充绝缘液体的射频微机电系统开关

    公开(公告)号:CN220856368U

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202321408419.1

    申请日:2023-06-05

    Applicant: 海南大学

    Abstract: 本实用新型的一种填充绝缘液体的射频微机电系统开关,涉及一种微机电系统开关。目的是为了克服现有的RFMEMS开关的驱动电压普遍偏高,影响开关的寿命的问题,包括:氧化层固定在衬底的上表面;一对地线平行固定在氧化层的上表面,且该一对地线以氧化层上表面的中点为对称中心成中心对称设置;信号传输线固定在氧化层的上表面且位于一对地线之间;电介质层固定在信号传输线的上表面;梁膜的两端分别通过一个锚点与一对地线固定,且该梁膜位于电介质层的上方;密封壳体密封扣设在氧化层的上表面,且将在地线、信号传输线、电介质层、锚点和梁膜罩于密封壳体和氧化层形成的密封腔内;并且,密封腔内填充有绝缘液。

Patent Agency Ranking