一种空穴氧二氧化锡敏感材料的氢气传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118465004A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410661381.1

    申请日:2024-05-27

    Applicant: 海南大学

    Abstract: 本发明提供了空穴氧二氧化锡敏感材料的氢气传感器的制备方法,包括:将二水氯化亚锡和硫代乙酰胺溶解到溶剂中,得到混合溶液;将平面电极沉浸在所述混合溶液中,化学浴沉积,得到化学浴沉积处理过的生长有敏感材料的平面器件;将所述平面器件清洗、干燥,煅烧,即得生长了二氧化锡纳米花的平面器件;将二乙基二硫代氨基甲酸钠(三水)置于石英舟中,放入管式炉上游加热区;将五水合四氯化锡置于石英舟中,放入管式炉下游加热区;将生长了二氧化锡纳米花的平面器件放在下游加热区;管式炉中通入载气,进行化学气相沉积,得到二氧化锡半导体敏感材料;而后煅烧,即得。本发明传感器对低浓度的氢气具备有效的响应,且对氢气拥有良好的选择性。

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