公开(公告)号：CN111378927A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN202010310630.4

申请日：2020-04-20

Applicant: 海南大学

Inventor： 文峰 ,  吴咏梅 ,  邓乔元 ,  刘嘉琪

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/38 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明公开了一种敷设在弹性基底上的硬质薄膜结构及制备方法，硬质薄膜结构是在弹性基底上敷设有类金刚石薄膜，类金刚石薄膜与弹性基底之间设置有纳米过渡层。制备方法为：第一步、清洗弹性基底；第二步、制备类金刚石薄膜,具体步骤为：步骤一、制备纳米过渡层；步骤二、制备外层硬质薄膜。有益效果：形成高质量的纳米结构过渡层；进一步形成结合力强、柔韧性高、耐磨性好的类金刚石薄膜硬质薄膜结构。

公开(公告)号：CN212833994U

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN202020589471.1

申请日：2020-04-20

Applicant: 海南大学

Inventor： 文峰 ,  吴咏梅 ,  邓乔元 ,  刘嘉琪

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/38 ,  C23C14/35

Abstract: 本实用新型公开了一种敷设在弹性基底上的硬质薄膜结构，硬质薄膜结构是在弹性基底上敷设有类金刚石薄膜，类金刚石薄膜与弹性基底之间设置有纳米过渡层。制备方法为：第一步、清洗弹性基底；第二步、制备类金刚石薄膜,具体步骤为：步骤一、制备纳米过渡层；步骤二、制备外层硬质薄膜。有益效果：形成高质量的纳米结构过渡层；进一步形成结合力强、柔韧性高、耐磨性好的类金刚石薄膜硬质薄膜结构。