公开(公告)号：CN115104000A

公开(公告)日：2022-09-23

申请号：CN202180013891.2

申请日：2021-02-09

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中村共则 ,  大塚贤一 ,  荒野谕 ,  土屋邦彦

IPC: G01B11/06 ,  G01J3/36 ,  G01J9/00

Abstract: 膜厚测定装置具备：光照射部，其相对于对象物面状地照射光；光学元件，其在规定的波长频带中透过率及反射率对应于波长而变化，将来自对象物的光进行透过及反射而予以分离；摄像部，其对由光学元件分离的光进行摄像；及解析部，其基于来自对光进行摄像的摄像部的信号，推定对象物的膜厚；光照射部照射光学元件的规定的波长频带所包含的波长的光。

公开(公告)号：CN117355724A

公开(公告)日：2024-01-05

申请号：CN202280036313.5

申请日：2022-01-25

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 土屋邦彦 ,  荒野谕 ,  大塚贤一

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明的膜厚测定装置具备：光源，其对样品照射光；区域传感器，其检测来自样品的光，并输出与所检测到的光的亮度信息对应的信号；分光器，其对来自样品的光进行分光检测，并输出与包含该光的光谱的波长信息对应的信号；以及控制装置，其基于由从区域传感器输出的信号确定的亮度信息、及由从分光器输出的信号确定的波长信息，推定样品的膜厚。