光学单元及膜厚测量装置

    公开(公告)号:CN114787580B

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202080081801.9

    申请日:2020-08-31

    Abstract: 本发明的光学单元(13)具备:输入部(21),其输入自紫外区域遍及可视区域的波长的测量光(L1);光学系统(22),其以产生色像差的状态将测量光(L1)聚光;及开口部(31),其中,产生了色像差的测量光(L1)中的、可视区域的波长的光(La)不成像,而紫外区域的波长的光(Lb)成像。

    光学单元及膜厚测量装置

    公开(公告)号:CN114787580A

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202080081801.9

    申请日:2020-08-31

    Abstract: 本发明的光学单元(13)具备:输入部(21),其输入自紫外区域遍及可视区域的波长的测量光(L1);光学系统(22),其以产生色像差的状态将测量光(L1)聚光;及开口部(31),其中,产生了色像差的测量光(L1)中的、可视区域的波长的光(La)不成像,而紫外区域的波长的光(Lb)成像。

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