公开(公告)号：CN111656180A

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN201880087782.3

申请日：2018-12-12

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 泷本未羽 ,  大村孝幸 ,  小谷政弘

IPC: G01N27/62

Abstract: 一种试样支承体，其用于将试样离子化，其中，具备：第一层，其上形成有多个第一贯通孔；导电层，其以不堵塞第一贯通孔的方式设置于第一层的表面；第二层，其设置于第一层的与导电层相反侧，且其上形成有多个第二贯通孔，多个第一贯通孔及多个第二贯通孔沿第一层及第二层的厚度方向延伸，多个第二贯通孔分别与多个第一贯通孔中的一个以上的第一贯通孔连通，第一贯通孔的宽度小于第二贯通孔的宽度，第一贯通孔的开口率小于第二贯通孔的开口率。

公开(公告)号：CN112534253A

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN201980051949.5

申请日：2019-07-25

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 泷本未羽 ,  大村孝幸 ,  小谷政弘

IPC: G01N27/62 ,  G01N27/626 ,  G01N30/02 ,  G01N30/72 ,  G01N1/28 ,  H01J49/04 ,  H01J49/10 ,  H01J49/16

Abstract: 本发明的试样支承体(1)是用于试样的离子化的试样支承体，具备：基板(2)，其形成有在第一表面(2a)、和与第一表面为相反侧的第二表面开口的多个贯通孔；导电层(4)，其以不堵塞贯通孔的方式设置于第一表面；以及框体(3)，其以从基板的厚度方向观察时，包围试样被离子化的离子化区域(R)的方式，设置于基板的周缘部；在框体上设置有用于识别离子化区域中的位置的标识(50、60)。

公开(公告)号：CN112513626A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201980050072.8

申请日：2019-06-19

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 泷本未羽 ,  大村孝幸 ,  小谷政弘

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/04 ,  H01J49/16

Abstract: 一种试样支承体，其用于将试样离子化，其中，具备：基板，其上形成有在第一表面及与第一表面相反侧的第二表面开口的多个贯通孔；导电层，其以不堵塞贯通孔的方式设置于第一表面；以及，加强材料，其配置于多个贯通孔中的一部分贯通孔的内部。