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发明公开
照射光学系统、照射装置及光学测定装置审中-实审

公开(公告)号：CN116848396A

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202180092662.4

申请日：2021-10-15

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 小野田浩久 , 松村朋和 , 近藤房宣 , 森下直计

IPC: G01N21/64

Abstract: 一种照射光学系统，是用于朝对象物照射第1光的照射光学系统，具备：光源，其包含：面发光元件，其自光出射面出射上述第1光；及透镜部，其用于提高自上述面发光元件出射的上述第1光的指向性；光整形构件，其自光入射面入射自上述光源出射的上述第1光，用于将入射的上述第1光通过光通过孔予以整形并出射；及第1透镜，其用于将自上述光整形构件出射的上述第1光的像在上述对象物成像；上述面发光元件的光出射面与上述光整形构件的光入射面的距离为上述光出射面的一方向上的大小的26倍以下。

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