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公开(公告)号:CN116964408A
公开(公告)日:2023-10-27
申请号:CN202280019054.5
申请日:2022-01-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 本公开的形状测定装置(1A)具备光源(2)、照射光学系统(3)、成像光学系统(4)、空间光调制器(5)、聚光光学系统(6)、线性传感器(7)、以及处理部(9A)。照射光学系统(3)使光成为线状而照射于对象物(S)。成像光学系统(4)输入在对象物(S)反射的光而成像。空间光调制器(5)在光调制面设定有一维状的强度调制图案,对输入到光调制面的光进行空间地强度调制而输出。聚光光学系统(6)将从空间光调制器(5)输出的光聚光为线状。线性传感器(7)将由聚光光学系统(6)聚光为线状的光由多个像素受光。处理部(9A)基于强度调制图案和来自线性传感器(7)的输出信号,对线性传感器(7)的多个像素的各个进行利用压缩感测技术的解析。由此,实现能够高精度地再构成对象物的形状的形状测定装置。
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公开(公告)号:CN118215835A
公开(公告)日:2024-06-18
申请号:CN202280069193.9
申请日:2022-07-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/27 , G01B9/02015 , G01J9/02
Abstract: 光外差干涉测量装置(1)包括光束生成部(10)、分束器(21)、镜(31)、第1光检测器(41)、线性偏振片(42)、第2光检测器(51)、线性偏振片(52)、AD转换部(60)和计算机(70)。光束生成部(10)生成偏振光相互正交的第1光束和第2光束并输出。第1光束和第2光束的光频率彼此相差外差频率。计算机(70)在令从光束生成部(10)输出的第1光束或第2光束所包含的强度噪声的频谱中在时间上恒定的任意的峰频率为ωp时,将外差频率ωh设定为峰频率ωp的有理数倍的值。由此,实现了能够降低噪声的影响的光外差干涉测量装置。
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公开(公告)号:CN119173804A
公开(公告)日:2024-12-20
申请号:CN202380039641.5
申请日:2023-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光源装置具备:光源,其输出光;反射部,其具有控制信号的输入部,并且构成为能够基于该控制信号控制入射的光反射的角度的分布;以及衍射格子,其将从光源输出的光分光并入射于反射部,并且使在反射部反射的光的至少一部分返回光源,由光源和反射部形成光谐振器,通过基于控制信号控制在反射部反射的光的角度的分布,而控制从衍射格子返回光源的光的带宽。
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公开(公告)号:CN116981962A
公开(公告)日:2023-10-31
申请号:CN202280018234.1
申请日:2022-01-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01S17/894
Abstract: 本发明的距离图像获取装置(1)具备光源(2)、照射光学系统(3)、成像光学系统(4)、摄像元件(5)、以及处理部(6)。摄像元件(5)将从光源(2)输出并被对象物反射且经过成像光学系统(4)的光脉冲在受光面上受光。摄像元件(5)的受光面上的多个像素的各个具有根据受光产生电荷的光电二极管和蓄积由该光电二极管产生的电荷的电荷蓄积部。处理部(6)对摄像元件(5)的多个像素分别赋予共同的控制图案。控制图案指示将在多个像素的各个中由光电二极管产生的电荷蓄积于电荷蓄积部的期间。处理部(6)基于由多个像素的各个的光电二极管产生并且蓄积于电荷蓄积部的电荷的量,求出对象物的距离图像。由此,实现能够通过压缩感知技术容易地进行空间分辨率高的距离图像的获取的装置。
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