柔性薄膜压力传感器的制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN120043666A

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202411896825.6

    申请日:2024-12-20

    Abstract: 一种柔性薄膜压力传感器的制备方法,该方法包括如下步骤:将柔性耐高温材料一侧热压在离型纸上,在所述柔性耐高温材料另一侧热压铜箔层,形成第一导电层胚层,所述第一导电层胚层呈图形化并且露出接线区域;在所述接线区域连接导线,使用水溶性胶带将其整体转印至所述柔性耐高温材料之上,在水中剥离所述水溶性胶带,形成带有封装层的第一导电层,以上述同样步骤形成带有封装层的第二导电层;自下而上设置所述第一封装层、第一导电层、压敏薄膜、第二导电层、第二封装层,采用热压方式封装器件;本发明制备方法得到的柔性薄膜压力传感器具备很好的延展性,阵列化采集信息丰富,并适用于多种曲面。

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