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公开(公告)号：CN119114534B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411603622.3
申请日：2024-11-12
Applicant: 浙江摩克激光智能装备有限公司
IPC: B08B7/00 , B08B13/00 , B23K26/352 , B23K26/36 , B23K26/402
Abstract: 本发明公开了一种激光扫描选择性去除工件表面透明涂层的方法，首先，将透明柔性膜覆盖于工件表面的透明涂层上，在透明柔性膜和工件之间填充光敏胶水，然后使用紫外激光穿过透明柔性膜对自定义图案部分的光敏胶水进行固化，随后使用红外激光对固化的光敏胶层加热从而将热传导至透明涂层使其软化并进一步使两者发生胶合，最后将透明柔性膜剥离，连带去除自定义图案部分的透明涂层。该方法实现了快速、精准的选择性去除工件表面的透明涂层，对工件表面无损伤，方便快捷，安全性高，环保无污染。
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公开(公告)号：CN119304371B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411854516.2
申请日：2024-12-17
Applicant: 浙江摩克激光智能装备有限公司
IPC: B23K26/352
Abstract: 本发明公开了一种曲面工件的在线闭环激光抛光方法，在激光抛光设备的振镜末端安装高精度距离检测装置，能够实时准确测量曲面工件表面的高度信息，实现了抛光与检测的集成化，这种集成化设计不仅简化了操作流程，还提高了检测效率和抛光质量。根据三角面片最大外接圆直径K将曲面工件待加工表面分割成若干个三角形的振镜加工区域，减少了振镜加工区域的拼缝和重叠，从而提高了抛光加工的精度和效率。根据等高线图规划多层抛光路径，确保了抛光过程的连续性和均匀性，同时，通过控制振镜沿抛光路径加工，实现了对工件表面的精确抛光。
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公开(公告)号：CN119340255B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411888066.9
申请日：2024-12-20
Applicant: 浙江摩克激光智能装备有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种多尺寸晶圆自动上下料装置，包括工作台，工作台上设有上下料轨道结构和安装框架，上下料轨道结构位于晶圆上料装载组件和晶圆下料装载组件之间，安装框架上安装有上下料抓手组件，上下料抓手组件将晶圆上料装载组件中装载有待加工晶圆的多尺寸晶圆装载盘抓取出，带动其沿上下料轨道结构移动至转移上料位点进行上料操作，或将转移上料位点处装载有加工好的晶圆的多尺寸晶圆装载盘抓取并移动至晶圆下料装载组件中进行下料操作，转运组件抓取多尺寸晶圆装载盘，带动多尺寸晶圆装载盘在转移上料位点和加工定位组件之间位置转移。该装置可对不同规格尺寸的晶圆自动同步进行上料、加工、下料操作，降低了设备成本，操作简单。
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公开(公告)号：CN119216826A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411757510.3
申请日：2024-12-03
Applicant: 浙江摩克激光智能装备有限公司
IPC: B23K26/38 , B23K26/70 , G06N3/084 , G06N3/0464
Abstract: 本发明公开了一种基于运动速度实时自适应调节振镜抖动的加工系统及方法，在箔片切割过程中，实时获取振镜当前相对于箔片的瞬时速度，并根据预先采用机器学习方法自动建立振镜瞬时速度与抖动参数之间的关系模型，使用训练完成的神经网络模型动态调整振镜的抖动参数；根据实时调节后的振镜的抖动参数，生成新的切割路径，并根据调节后的抖动参数调整振镜的扫描速度，以匹配新的切割路径需求；振镜以新的切割路径和扫描速度进行调整，控制激光器的输出，继续运行完成箔片的切割操作。其基于振镜的瞬时运动速度实时自适应调节其抖动参数，修正飞行切割轨迹，以确保切割形状的稳定性和一致性，从而提升最终产品的整体质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119216826B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411757510.3
申请日：2024-12-03
Applicant: 浙江摩克激光智能装备有限公司
IPC: B23K26/38 , B23K26/70 , G06N3/084 , G06N3/0464
Abstract: 本发明公开了一种基于运动速度实时自适应调节振镜抖动的加工系统及方法，在箔片切割过程中，实时获取振镜当前相对于箔片的瞬时速度，并根据预先采用机器学习方法自动建立振镜瞬时速度与抖动参数之间的关系模型，使用训练完成的神经网络模型动态调整振镜的抖动参数；根据实时调节后的振镜的抖动参数，生成新的切割路径，并根据调节后的抖动参数调整振镜的扫描速度，以匹配新的切割路径需求；振镜以新的切割路径和扫描速度进行调整，控制激光器的输出，继续运行完成箔片的切割操作。其基于振镜的瞬时运动速度实时自适应调节其抖动参数，修正飞行切割轨迹，以确保切割形状的稳定性和一致性，从而提升最终产品的整体质量。
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公开(公告)号：CN119304371A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411854516.2
申请日：2024-12-17
Applicant: 浙江摩克激光智能装备有限公司
IPC: B23K26/352
Abstract: 本发明公开了一种曲面工件的在线闭环激光抛光方法，在激光抛光设备的振镜末端安装高精度距离检测装置，能够实时准确测量曲面工件表面的高度信息，实现了抛光与检测的集成化，这种集成化设计不仅简化了操作流程，还提高了检测效率和抛光质量。根据三角面片最大外接圆直径K将曲面工件待加工表面分割成若干个三角形的振镜加工区域，减少了振镜加工区域的拼缝和重叠，从而提高了抛光加工的精度和效率。根据等高线图规划多层抛光路径，确保了抛光过程的连续性和均匀性，同时，通过控制振镜沿抛光路径加工，实现了对工件表面的精确抛光。
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公开(公告)号：CN119794634A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510288608.7
申请日：2025-03-12
Applicant: 浙江摩克激光智能装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高功率激光加工头的光束漂移自动补偿装置，光束检测模块实施过程包括：激光主光束首先被光楔的两个反射表面分为透射光和两束反射光（检测光），两束检测光再通过聚焦透镜分别汇聚到位置光电探测器和CMOS相机上，通过对位置光电探测器和CMOS相机的数据信息融合，使得CMOS相机获得的光斑形状信息能够与位置光电探测器的高精度角度测量能力互补，在保证检测的高分辨率和高响应速度的同时，提高对各种形状光斑的测量精度。根据光束检测模块测得的光束的角向偏移量∆θ判断入射光束相对入射方向是否发生偏转，透射光经所述光束补偿模块对偏转的光束进行自动补偿，使得出射光束与入射光束保持同一光轴并垂直入射面出射。
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公开(公告)号：CN119340255A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202411888066.9
申请日：2024-12-20
Applicant: 浙江摩克激光智能装备有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种多尺寸晶圆自动上下料装置，包括工作台，工作台上设有上下料轨道结构和安装框架，上下料轨道结构位于晶圆上料装载组件和晶圆下料装载组件之间，安装框架上安装有上下料抓手组件，上下料抓手组件将晶圆上料装载组件中装载有待加工晶圆的多尺寸晶圆装载盘抓取出，带动其沿上下料轨道结构移动至转移上料位点进行上料操作，或将转移上料位点处装载有加工好的晶圆的多尺寸晶圆装载盘抓取并移动至晶圆下料装载组件中进行下料操作，转运组件抓取多尺寸晶圆装载盘，带动多尺寸晶圆装载盘在转移上料位点和加工定位组件之间位置转移。该装置可对不同规格尺寸的晶圆自动同步进行上料、加工、下料操作，降低了设备成本，操作简单。
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公开(公告)号：CN119114534A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411603622.3
申请日：2024-11-12
Applicant: 浙江摩克激光智能装备有限公司
IPC: B08B7/00 , B08B13/00 , B23K26/352 , B23K26/36 , B23K26/402
Abstract: 本发明公开了一种激光扫描选择性去除工件表面透明涂层的方法，首先，将透明柔性膜覆盖于工件表面的透明涂层上，在透明柔性膜和工件之间填充光敏胶水，然后使用紫外激光穿过透明柔性膜对自定义图案部分的光敏胶水进行固化，随后使用红外激光对固化的光敏胶层加热从而将热传导至透明涂层使其软化并进一步使两者发生胶合，最后将透明柔性膜剥离，连带去除自定义图案部分的透明涂层。该方法实现了快速、精准的选择性去除工件表面的透明涂层，对工件表面无损伤，方便快捷，安全性高，环保无污染。
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