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公开(公告)号：CN111220538B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN201911236552.1
申请日：2019-12-05
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01N19/04
Abstract: 本发明公开了一种手动测量薄膜与丝线结合力装置，包括基座、丝线、丝线固定装置、薄膜结合力测量装置及手动驱动装置，所述丝线缠绕设置在丝线固定装置上，所述丝线固定装置及手动驱动装置分别设置在基座上，所述薄膜结合力测量装置一端与丝线相连，另一端与手动驱动装置固定连接。本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，安全牢固，使用方便；应用本装置测量薄膜与丝线结合力，大幅简化了测试过程，减少测试时间，提高了测量的效率，对薄膜结合力测量领域具有重要的意义。
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公开(公告)号：CN110578127B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN201911055590.7
申请日：2019-10-31
Applicant: 浙江工业大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种提升磁控溅射镀膜沉积速率装置，包括真空腔室、设置真空腔室顶部的密封盖、穿设在密封盖上的升降台及固定设置在升降台上的助吸装置，所述助吸装置包括吸环、连管及半圆形密封盘，所述吸环上均匀分布吸气孔，所述连管与吸环相连通，所述半圆型密封盘设置在连管端部位置，所述吸环表面相对位置处设有支撑块，所述支撑块上设有紧固螺钉，并通过紧固螺钉与升降台相连。本发明的有益效果是：该装置设计结构合理，使用方便，应用本装置为样品进行磁控溅射镀膜，使镀膜效率得到提高，对薄膜的制造领域具有重要的意义。
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公开(公告)号：CN111058008A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN202010049136.7
申请日：2020-01-16
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置，包括腔体、腔体内制冷装置、腔体外冷却装置、控制显示装置及样品固定装置，所述腔体内制冷装置包括支撑柱及设置在支撑柱上的S型紫铜盘管，所述腔体外冷却装置包括氮气罐、液氮罐、紫铜盘管及紫铜管，所述紫铜盘管设置在液氮罐内，且与氮气罐之间通过连接管道相连通，所述紫铜盘管与S型紫铜盘管之间通过紫铜管连通。本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对加工温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。
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公开(公告)号：CN110849805A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911236555.5
申请日：2019-12-05
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01N19/04
Abstract: 本发明公开了一种手动测量薄膜与圆棒结合力装置，包括基座、薄膜结合力测量装置及手动驱动装置，所述薄膜结合力测量装置及手动驱动装置分别设置在基座上，且手动驱动装置与薄膜结合力测量装置固定连接，所述薄膜结合力测量装置包括拉杆装置、固定块装置、弹簧、拉力传感器、传感显示器及圆棒，所述圆棒一端与拉杆装置固定连接，另一端与固定块装置固定连接，所述弹簧一端与拉杆装置相连，另一端与拉力传感器相连，并通过拉力传感器与手动驱动装置相连；本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，安全牢固，使用方便。应用本装置测量薄膜与圆棒结合力，大幅简化了测试过程，减少测试时间，提高了测量的效率。
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公开(公告)号：CN110846632A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911236566.3
申请日：2019-12-05
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开了一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110144563A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910569559.9
申请日：2019-06-27
Applicant: 浙江工业大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种适用于磁控溅射仪的自动升降靶材平台，包括冷却水箱平台及设置在冷却水箱平台下方的自动升降装置，所述冷却水箱平台包括冷却水箱、设置在冷却水箱上方的靶材架及设置在靶材架上设有靶材；所述自动升降装置包括直线电机、直线电机输出轴、第一铰接座、第二铰接座、第一销轴、第二销轴、第二连杆、第三连杆、第一滚轮及第一滑槽，所述第一滑槽及第二铰接座分别设置在冷却水箱底部两侧靠近端部位置处，所述第一滚轮配合设置在第一滑槽内，且第一滚轮能够在第一滑槽内滑动；本发明的有益效果是：该自动升降靶材平台设计巧妙，结构合理，自动化程度高，且使用方便，能够自动升降靶材所在的试验平台，调节镀膜的间距。
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公开(公告)号：CN109406394A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811565189.3
申请日：2018-12-20
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01N19/04
Abstract: 本发明公开了一种薄膜与基体结合力步进电机驱动齿轮传动测量装置，包括电机驱动装置和结合力测定装置。电机驱动装置由步进电机和齿轮等部件组成；薄膜结合力测定装置主要由拉力传感器和可拆卸金属块等部件组成。本发明结构设计巧妙，使用方便，安全牢固，组装方便，大大提高了测量薄膜结合力的速度。应用本装置测量薄膜基体结合力，操作简单，测量范围广，测量结合力的准确性高，稳定性强。
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公开(公告)号：CN109406393A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811565188.9
申请日：2018-12-20
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01N19/04
Abstract: 本发明公开了一种薄膜与基体结合力电机驱动手动驱动可转换测量装置，包括电机驱动装置和结合力测定装置。电机驱动装置由步进电机、连杆等部件组成；手动驱动部分包括摇杆，摇杆齿轮等部件组成；薄膜结合力测定装置主要由拉力传感器和固定金属块等部件组成。本发明结构可以实现电机驱动和手动驱动的快速转换，设计巧妙，使用方便，安全牢固，组装方便，大大提高了测量薄膜结合力的速度。应用本装置测量薄膜基体结合力，操作简单，测量范围广，测量结合力的准确性高，稳定性强。
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公开(公告)号：CN110117776B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201910473427.6
申请日：2019-05-31
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开了一种实时间接测量溅射靶材温度装置，包括贴合设置在靶材铜底座上的导热固定装置及设置在导热固定装置上的温度传感器装置，所述导热固定装置包括上导热固定铜块及下导热固定铜块，所述上导热固定铜块及下导热固定铜块通过固定螺丝设置在靶材铜底座内侧位置；所述温度传感器装置包括温度传感器探头、与温度传感器探头相连的防水耐高温线缆及与防水耐高温线缆相连的显示器。本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，应用本装置为样品进行磁控溅射镀膜，使镀膜过程更加安全，保障了实验人员的人身安全，保证了测量的薄膜与基体的结合力的稳定性与精确性，对薄膜的研究领域具有重要的意义。
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公开(公告)号：CN111139443A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010049735.9
申请日：2020-01-16
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于半导体制冷的便携式升降温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体、设置在样品台腔体顶部样品台上底面及设置在样品台腔体底部的样品台下底面，所述样品台上底面上设有固定圆盘；所述样品台腔体内部在位于样品台下底面内侧贴合设置导体制冷片，所述样品台下底面外侧设有样品紧固装置，所述样品紧固装置包括螺杆、限位板及螺母，所述螺杆固定在样品台下底面上，所述限位板套设在螺杆上。本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。
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