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公开(公告)号：CN103084919B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201310050221.5
申请日：2013-02-07
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开了一种切削液气雾微量润滑方法，压缩空气和切削液送至喷嘴混合形成切削液气雾，喷嘴上设有连接高压静电的充电电极，充电电极使切削液气雾带电，带电切削液气雾喷向切削加工区域进行润滑冷却。还公开了实施上述切削液气雾微量润滑方法的装置。本技术方案采用带电切削液气雾对切削加工区域进润滑冷却，切削液滴带电后具有更小的粒径、表面张力和粘度等特点，这样可以提高切削液滴在工件?刀具?切屑接触区域的渗透性、润滑性和冷却性，从而提高加工工件的表面质量以及刀具的耐用度。
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公开(公告)号：CN103084919A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310050221.5
申请日：2013-02-07
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开了一种切削液气雾微量润滑方法，压缩空气和切削液送至喷嘴混合形成切削液气雾，喷嘴上设有连接高压静电的充电电极，充电电极使切削液气雾带电，带电切削液气雾喷向切削加工区域进行润滑冷却。还公开了实施上述切削液气雾微量润滑方法的装置。本技术方案采用带电切削液气雾对切削加工区域进润滑冷却，切削液滴带电后具有更小的粒径、表面张力和粘度等特点，这样可以提高切削液滴在工件-刀具-切屑接触区域的渗透性、润滑性和冷却性，从而提高加工工件的表面质量以及刀具的耐用度。
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公开(公告)号：CN101870851A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010189611.7
申请日：2010-06-02
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开了一种化学机械抛光液，包括液体，液体中分布有复合磨粒，所述复合磨粒由大颗粒磁性聚合物粒子外面依附小粒径磨料构成，所述磁性聚合物粒子由聚合物材料包裹磁性材料构成。还公开了一种化学机械抛光方法，采用如上所述的化学机械抛光液，利用辅助磁场将复合磨粒把持在软质抛光垫或者硬质抛光器表面，对抛光材料的被抛光面进行抛光。本技术方案在对半导体基片、氧化物和金属等材料以及半导体部件制程中Cu/低k介质等进行化学机械抛光时，可以提高抛光速率，控制并减小抛光面塌边，提高抛光工件的金属表面质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101870851B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201010189611.7
申请日：2010-06-02
Applicant: 浙江工业大学
Abstract: 本发明公开了一种化学机械抛光液，包括液体，液体中分布有复合磨粒，所述复合磨粒由大颗粒磁性聚合物粒子外面依附小粒径磨料构成，所述磁性聚合物粒子由聚合物材料包裹磁性材料构成。还公开了一种化学机械抛光方法，采用如上所述的化学机械抛光液，利用辅助磁场将复合磨粒把持在软质抛光垫或者硬质抛光器表面，对抛光材料的被抛光面进行抛光。本技术方案在对半导体基片、氧化物和金属等材料以及半导体部件制程中Cu/低k介质等进行化学机械抛光时，可以提高抛光速率，控制并减小抛光面塌边，提高抛光工件的金属表面质量。
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公开(公告)号：CN203092250U
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201320072042.7
申请日：2013-02-07
Applicant: 浙江工业大学
IPC: B23Q11/10
Abstract: 本实用新型公开了一种切削液气雾微量润滑装置，包括微量润滑气雾发生装置，微量润滑气雾发生装置的喷嘴上设有能够使喷嘴喷出的切削液气雾带电的充电电极，充电电极与高压静电发生器连接。本技术方案采用带电切削液气雾对切削加工区域进润滑冷却，切削液滴带电后具有更小的粒径、表面张力和粘度等特点，这样可以提高切削液滴在工件-刀具-切屑接触区域的渗透性、润滑性和冷却性，从而提高加工工件的表面质量以及刀具的耐用度。
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公开(公告)号：CN203275090U
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201320180650.X
申请日：2013-04-10
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01M13/04
Abstract: 一种气浮轴承抗弯能力测试装置，包括机架、气浮垫、电磁铁、力传感器和铁磁体，所述机架包括水平布置的底座和竖直布置的支架，所述支架底部安装在底座上，所述气浮轴承的气浮轴套装在气浮套内，所述气浮套套装在气浮套座内，所述气浮套座通过连接件固定在支架上，所述铁磁体套装在气浮轴的底端，所述气浮垫安装在底座上，所述气浮垫与气浮轴同心，所述铁磁体位于所述气浮垫上且两者之间气浮式连接，所述电磁铁与力传感器连接，所述力传感器与固定座连接，所述固定座安装在底座上，所述电磁铁位于所述铁磁体的侧边且与铁磁体正对相对。本实用新型的加载机构与气浮轴承不直接接触、动态检测、操作方便。
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公开(公告)号：CN203275069U
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201320180545.6
申请日：2013-04-10
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01M13/00
Abstract: 一种无摩擦气缸抗侧向力测试装置，包括机架、气浮垫、电磁铁、铁磁体、力传感器和垫块，所述无摩擦气缸的无杆腔侧固定在机架上，所述无摩擦气缸的活塞杆呈向上布置，所述铁磁体与无摩擦气缸的活塞固定连接，所述垫块套装在所述活塞杆的上端，所述气浮垫安装在升降机构上且与所述垫块同心，所述气浮垫位于所述垫块上且两者之间气浮式连接，所述升降机构安装在机架上，所述电磁铁与力传感器连接，所述力传感器与所述升降机构连接，所述电磁铁与所述铁磁体正对，所述升降机构上设有气浮垫供气口，所述机架上设有无摩擦气缸的进气孔。本实用新型动态测量、不引入其他扰动力、检测精度高。
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公开(公告)号：CN203275268U
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201320180345.0
申请日：2013-04-10
Applicant: 浙江工业大学
IPC: G01N19/02
Abstract: 一种无摩擦气缸摩擦力测试装置，包括测试平台、用以调节测试平台的高度的调节装置、激光位移传感器和圆盘挡板，所述激光位移传感器与所述圆盘挡板配合，所述待测试无摩擦气缸的活塞杆与标准无摩擦气缸的活塞杆端部之间固定连接，在所述固定连接处安装所述圆盘挡板，所述待测试无摩擦气缸和所述标准无摩擦气缸均固定在测试平台上，所述激光位移传感器固定在测试平台上，所述测试平台一端铰接在基座上，所述调节装置安装在测试平台的另一侧，所述两个无摩擦气缸的进气口均与同一气源连通。本实用新型提供一种测试方便、精确度高的无摩擦气缸摩擦力测量装置。
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