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公开(公告)号：CN109358460A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811476905.0
申请日：2018-12-05
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: G02F1/355
Abstract: 本发明公开了一种制备周期极化畴反转结构晶体的装置，包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的上方设置有电晕线和激光分束装置，电晕线连接气体源和高压电源，激光分束装置连接激光器，激光器通过激光分束装置将若干束激光射向铁电晶体顶面。本发明通过增加激光诱导降低了铁电晶体的矫顽电场，从而降低极化电压的峰值，实现较低电压下的极化，降低了极化过程中铁电晶体被击穿的可能性，提升生产过程中的良品率。
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公开(公告)号：CN111665518A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010612648.X
申请日：2020-06-30
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
Abstract: 本发明公开了一种人眼安全相控阵激光雷达，中波红外激光光源，经过分光单元，能够稳定的将单束输入光均分为四束平行于结构支架的平行光输出，并且最大限度的降低对激光相位的影响；同时该分光单元也能将接收到的信号光进行合束，并将其传输到底部的传感器接收窗口上；四向反射单元用来将分束的光转为水平向出射，同时也负责将从四向反射回的信号光进行接收。经过折射的激光通过位于各自方向前端的相控阵单元进行出射角控制，从而增加各个方向的水平扫描角度。各组件都以中间结构支架作为基准，因此降低了整体结构的复杂性、安装简便，简化了设备的多维扫描配合要求，降低了信号传输过程中引入的噪声。
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公开(公告)号：CN109557676A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811577940.1
申请日：2018-12-24
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种简易匀光装置，包括分光装置、聚焦透镜和准直透镜，分光装置将入射激光分为若干束等强度的激光束，聚焦透镜将若干束等强度的激光束聚焦合束为一束激光，准直透镜调节合束的激光束的重叠比例，形成中心区域均匀分布的激光束。本发明通过分光装置对入射激光继续分光，最后合成一束中心区域均匀分布的激光束，结构小巧简便，提高了光能的利用率，易添加至多种类型的光路中。
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公开(公告)号：CN110943028B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN201911201145.7
申请日：2019-11-29
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种多功能晶圆夹具，属于芯片加工技术领域，包括转动连接的第一盒体和第二盒体，所述第一盒体与第二盒体内均设有存储腔和安装于所述存储腔内的一对晶圆夹钩，所述晶圆夹钩能够从所述存储腔中伸出，所述晶圆夹钩包括方向能够调节的钩体。本发明能够夹取竖直或水平放置的晶圆，便于存放不使用的晶圆夹钩，方便携带，功能多样。
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公开(公告)号：CN111665518B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202010612648.X
申请日：2020-06-30
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
Abstract: 本发明公开了一种人眼安全相控阵激光雷达，中波红外激光光源，经过分光单元，能够稳定的将单束输入光均分为四束平行于结构支架的平行光输出，并且最大限度的降低对激光相位的影响；同时该分光单元也能将接收到的信号光进行合束，并将其传输到底部的传感器接收窗口上；四向反射单元用来将分束的光转为水平向出射，同时也负责将从四向反射回的信号光进行接收。经过折射的激光通过位于各自方向前端的相控阵单元进行出射角控制，从而增加各个方向的水平扫描角度。各组件都以中间结构支架作为基准，因此降低了整体结构的复杂性、安装简便，简化了设备的多维扫描配合要求，降低了信号传输过程中引入的噪声。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110943028A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911201145.7
申请日：2019-11-29
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种多功能晶圆夹具，属于芯片加工技术领域，包括转动连接的第一盒体和第二盒体，所述第一盒体与第二盒体内均设有存储腔和安装于所述存储腔内的一对晶圆夹钩，所述晶圆夹钩能够从所述存储腔中伸出，所述晶圆夹钩包括方向能够调节的钩体。本发明能够夹取竖直或水平放置的晶圆，便于存放不使用的晶圆夹钩，方便携带，功能多样。
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公开(公告)号：CN110137790A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910504243.1
申请日：2019-06-12
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
Abstract: 本发明公开了一种周期分岔的耗散孤子共振型脉冲光纤激光器，包括泵浦源、波分复用耦合器、掺镱增益光纤、隔离器、第一输出耦合器、第一偏振控制器和光纤非线性环形反射镜；泵浦源的输出端连接波分复用耦合器的输入端，波分复用耦合器、掺镱增益光纤、隔离器、第一输出耦合器、第一偏振控制器和光纤非线性环形反射镜依次连接形成光纤环形腔，其中，光纤非线性环形反射镜包括第二输出耦合器，第二输出耦合器的两个输出端口之间连接有单模光纤和第二偏振控制器，第二输出耦合器的两个输入端口分别连接第一偏振控制器和波分复用耦合器。同时公开了周期分岔的耗散孤子共振型脉冲产生方法。本发明实现周期分岔的耗散孤子共振型脉冲光脉冲输出。
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公开(公告)号：CN110044394A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910379466.X
申请日：2019-05-08
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: G01D5/28
Abstract: 本发明公开了一种新型光波导相控阵扫描系统，包括波长可谐调激光器、光波导阵列和分光棱镜；波长可谐调激光器作为光源，向光波导阵列发出激光，光波导阵列对激光进行偏转，偏转后的光射向分光棱镜，分光棱镜将光束等分成若干份，分光棱镜每个出射面正对一光开关的入射端。本发明采用光波导阵列进行激光调调制，然后通过分光棱镜将一束光分成若干束光，将单方向扫描扩展为多个方向同时扫描，提升了扫描效率，同时所用器件结构简单，体积小，具有易于集成和成本低的特点。
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公开(公告)号：CN211028611U
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201921897576.7
申请日：2019-11-06
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: B23K26/38 , B23K26/064 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型公开了一种激光双面切割装置，包括激光器：向切割头射出激光；切割头：内置光学元件；接收激光器射出的激光，激光经过光学元件，被分成两束聚焦位置不同的出射光；反射装置：与切割头出射端相对，并且固定在间距调节机构上，通过间距调节机构调节反射装置与切割头之间间距。本实用新型通过设置位置可调的反射装置，扩展了切割范围，解决了因光学元件待切割材料厚度受限的问题，有利于降低生产成本。
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公开(公告)号：CN209086627U
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201822027419.2
申请日：2018-12-05
Applicant: 浙江大学昆山创新中心
IPC: G02F1/355
Abstract: 本实用新型公开了一种制备周期极化畴反转结构晶体的装置，包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的上方设置有电晕线和激光分束装置，电晕线连接气体源和高压电源，激光分束装置连接激光器，激光器通过激光分束装置将若干束激光射向铁电晶体顶面。本实用新型通过增加激光诱导降低了铁电晶体的矫顽电场，从而降低极化电压的峰值，实现较低电压下的极化，降低了极化过程中铁电晶体被击穿的可能性，提升生产过程中的良品率。
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