公开(公告)号：CN117832213A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202311849548.9

申请日：2023-12-29

Applicant: 浙江大学 ,  北京东方计量测试研究所

Inventor： 蒋云昊 ,  董树荣 ,  高志良 ,  陈奕鹏 ,  朱信宇 ,  程千钉 ,  周黎

IPC: H01L27/02 ,  H02H9/00 ,  H02H9/02 ,  H02H9/04

Abstract: 本发明公开了一种半导体静电防护技术领域的静电防护器件，旨在解决现有技术中静电防护器件鲁棒性较差的问题。其包括：第一端子和第二端子在接入需要静电防护的电路后，当第一端子和第二端子任一端遭遇静电脉冲时，电容的极板发生电子迁移，由于静电发生时间极短，此时电子迁移可看做电容短接，碳纳米管导通两端的第一端子和第二端子，静电脉冲通过第一端子、碳纳米管和第二端子形成的通路逃开需要静电防护的电路，从电源端口流走；没有静电脉冲时，电容阻隔直流电通过。