一种用于光刻机的浸没流场稳定装置

    公开(公告)号:CN101477310A

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200810164177.X

    申请日:2008-12-29

    Abstract: 本发明公开了一种用于光刻机的浸没流场稳定装置。浸没流场稳定装置是在投影透镜组和衬底之间设置的装置,所述的浸没流场稳定装置由管路连接体、主体结构、自适应滑块组组成。当衬底高速运动牵拉液体,导致缝隙流场发生波动时,自适应滑块组能实时调整位置以改变内隔离腔,外隔离腔,注液腔和回收腔的流道大小,降低冲击强度;内外隔离腔的液体将实时补偿流场的波动,自动对缝隙流场进行缓冲及补偿,吸收衬底牵拉形成的液力冲击,抑制并控制流场的不稳定性;注液腔和回收腔的流道大小也将在衬底高速运动过程中实时改变,在缝隙流场的波动冲击下,维持注液腔和回收腔的流量及压力特性稳定,维持注液及回收过程的稳定性及可靠性。

    一种聚丙烯腈基介孔-大孔超细碳纤维及其制备方法

    公开(公告)号:CN100387762C

    公开(公告)日:2008-05-14

    申请号:CN200610052381.3

    申请日:2006-07-10

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开的聚丙烯腈基介孔-大孔超细碳纤维是直径为10纳米~5微米的实心碳纤维或者中空碳纤维,碳纤维上具有孔径在20~100纳米的介孔或大孔。其制备方法:将一种在非氧化气氛下可充分热分解的聚合物与聚丙烯腈或聚丙烯腈共聚物溶解于共溶剂中,通过高压静电纺丝的方法制备成超细纤维;再将该纤维经过干燥、100~300℃下预氧化,然后在氮气或其它惰性气体氛围中,温度为300~1800℃之间进行碳化。其中可热解的聚合物完全分解,在纤维中留下孔径在20~100纳米的孔。本发明的超细碳纤维纤维直径小、比表面积大,孔径和孔形态容易调节,由于孔径处于介孔和大孔范围,纤维特别适合于某些大粒径颗粒(如细菌和病毒)的吸附和分离。

    投影显示颜色均匀性校正方法及其系统

    公开(公告)号:CN1595491A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN200410025648.0

    申请日:2004-06-22

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 陈颖 李海峰 刘旭

    Abstract: 本发明公开了一种投影显示颜色均匀性校正方法及其系统。它是将显示屏平均分为n1×n2个校正区域,有(n1+1)×(n2+1)个校正点,每个校正点的红、绿、蓝的亮度变化通过调节电路中与三个颜色相对应的(n1+1)×(n2+1)矩阵中寄存器的值来实现;寄存器中存放的是校正亮度值,这些校正亮度值会和相应校正点的视频信号亮度值叠加在一起,作为最终视频信号的输出;通过CCD采集红、绿、蓝在各个校正点上的亮度值并调节相应的校正亮度值,使得三基色的亮度比例相同,从而达到实现颜色均匀性的校正。本发明利用二维面阵CCD可以实现对投影机输出的二维亮度分布的快速测量;通过小幅度改变视频信号的亮度值,有效的改善投影显示系统颜色的不均匀分布。

    一种航空作动器往复密封多工况综合模拟试验系统

    公开(公告)号:CN105673621B

    公开(公告)日:2018-01-26

    申请号:CN201610115225.0

    申请日:2016-03-01

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种航空作动器往复密封多工况综合模拟试验系统。包括试验作动器、与试验作动器的活塞杆连接的往复驱动加载系统以及连接到缸体进出油口的液压系统,试验作动器包括端盖、活塞杆和缸体,往复驱动系统包括电动缸、传动轴、传动隔振装置、力传感器和LVDT传感器,传动轴通过传动隔振装置与力传感器相连接,液压系统包括泵源模块、增压模块、保压模块和管路加热器。本发明能够有效模拟航空作动器的高压、宽温、变速和机载振动等多工况综合条件,并能在各工况下准确测量单个活塞杆多种型式轴密封的摩擦力特性和多次往复后泄漏量,具有使用方便、运转平稳、测试准确、寿命长等特点。

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