公开(公告)号：CN104732533B

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201510107829.6

申请日：2015-03-12

Applicant: 浙江大学

Inventor： 杨秦敏 ,  赵声 ,  张杰 ,  卢建刚 ,  陈积明 ,  孙优贤

IPC: G06T7/00

Abstract: 本发明公开了一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法。首先将扫描的光栅图像进行图像宽度调整，使得图像宽度为光栅周期宽度的整数倍。其次对图像进行滤波，滤波采用图像傅里叶变换后幅值的次大值的1/8倍数作为滤波阈值，将图像傅里叶变换后幅值小于滤波阈值的部分滤掉。最后以傅里叶变换后幅值的次大值的1/4倍数作为评价阈值，幅值大于阈值部分之和与幅值小于阈值部分之和的比值作为最终评价指标。本发明的方法可以在无人工参与的情况下有效地将扫描探针显微镜扫描的光栅图像内的畸变量化，实现畸变的自动评估，从而有助于评价扫描算法的有效性，在探头损毁时，可以提醒用户更换探头。

公开(公告)号：CN103063880A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201210564315.X

申请日：2012-12-21

Applicant: 浙江大学

Inventor： 杨秦敏 ,  赵声 ,  卢建刚 ,  张杰 ,  孙优贤

IPC: G01Q30/00

Abstract: 本发明公开了一种估计并补偿扫描探针显微镜中温漂的方法，用扫描探针显微镜在固定的采样间隔下获得样品表面图像后，将每幅图像分别划分为若干块并进行梯度化处理，使用相位相关法计算相邻采样时刻获得的图像在x及y方向的漂移量，运用密度聚类DBSCAN算法剔除噪声数据后计算图像整体漂移量；然后用神经网络方法根据前几次的漂移量及当前近场温度数据预测下一采样时刻的漂移量，并根据实际测量计算得到的漂移量数据改进神经网络参数；预测得到的下一采样时刻漂移量作为前馈信号输入给控制器，控制器据此做出补偿，从而抑制温漂，实现自动控制；本发明可以有效抑制在没有严格温湿度控制的环境下，扫描探针显微镜随时间的推移所产生的温漂。

公开(公告)号：CN103728468B

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201310742930.X

申请日：2013-12-30

Applicant: 浙江大学

Inventor： 杨秦敏 ,  赵声 ,  张杰 ,  卢建刚 ,  陈积明 ,  孙优贤

IPC: G01Q30/00

Abstract: 本发明公开了一种抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，将欲扫描图像区域划分为N*N个正方形小图像块，每个小图像块与相邻图像块有部分重叠。采用Z字形依次扫描小图像块。每扫出一幅小图像块，将其与上一幅图像的设定重叠区域切割提取出来，用相位相关法计算其温漂。将扫描出的多幅小图像块根据其设定的起始扫描位置及其实际温漂量拼接起来。第一幅图像先放置，后面图像块依次放置，放置坐标为设定扫描起始坐标加上前面各图像块温漂之和。本发明的方法可以有效估计并补偿在没有严格温湿度控制的环境下，扫描探针显微镜扫描高精度大图耗时较长所引起的图像内漂移严重的问题。

公开(公告)号：CN104732533A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201510107829.6

申请日：2015-03-12

Applicant: 浙江大学

Inventor： 杨秦敏 ,  赵声 ,  张杰 ,  卢建刚 ,  陈积明 ,  孙优贤

IPC: G06T7/00

Abstract: 本发明公开了一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法。首先将扫描的光栅图像进行图像宽度调整，使得图像宽度为光栅周期宽度的整数倍。其次对图像进行滤波，滤波采用图像傅里叶变换后幅值的次大值的1/8倍数作为滤波阈值，将图像傅里叶变换后幅值小于滤波阈值的部分滤掉。最后以傅里叶变换后幅值的次大值的1/4倍数作为评价阈值，幅值大于阈值部分之和与幅值小于阈值部分之和的比值作为最终评价指标。本发明的方法可以在无人工参与的情况下有效地将扫描探针显微镜扫描的光栅图像内的畸变量化，实现畸变的自动评估，从而有助于评价扫描算法的有效性，在探头损毁时，可以提醒用户更换探头。

公开(公告)号：CN103728468A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201310742930.X

申请日：2013-12-30

Applicant: 浙江大学

Inventor： 杨秦敏 ,  赵声 ,  张杰 ,  卢建刚 ,  陈积明 ,  孙优贤

IPC: G01Q30/00

Abstract: 本发明公开了一种抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，将欲扫描图像区域划分为N*N个正方形小图像块，每个小图像块与相邻图像块有部分重叠。采用Z字形依次扫描小图像块。每扫出一幅小图像块，将其与上一幅图像的设定重叠区域切割提取出来，用相位相关法计算其温漂。将扫描出的多幅小图像块根据其设定的起始扫描位置及其实际温漂量拼接起来。第一幅图像先放置，后面图像块依次放置，放置坐标为设定扫描起始坐标加上前面各图像块温漂之和。本发明的方法可以有效估计并补偿在没有严格温湿度控制的环境下，扫描探针显微镜扫描高精度大图耗时较长所引起的图像内漂移严重的问题。