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公开(公告)号：CN113552171B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202110802390.4
申请日：2021-07-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压电谐振式露点传感器装置及其露点识别方法，方法包括：利用网络分析仪驱动MEMS压电谐振器，将待测气体通过进气孔通入气室中，并实现气室的封闭；将半导体制冷片通电降温，使气室内的相对湿度不断增加直至水汽饱和，在MEMS压电谐振器的表面产生水分凝结，连续记录温度传感器的温度值和MEMS压电谐振器输出的谐振频率值；以步骤S2降温过程中输出的谐振频率值作为因变量y、负温度值作为自变量x，进行分段函数拟合；在拟合得到的最终函数中，分段点所对应的温度传感器的温度值，即为待测气体的露点温度。该方法拓宽了在露点测量领域可用的MEMS谐振器种类范围，也提高了测量的可靠性和精度。
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公开(公告)号：CN113552171A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110802390.4
申请日：2021-07-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压电谐振式露点传感器装置及其露点识别方法，方法包括：利用网络分析仪驱动MEMS压电谐振器，将待测气体通过进气孔通入气室中，并实现气室的封闭；将半导体制冷片通电降温，使气室内的相对湿度不断增加直至水汽饱和，在MEMS压电谐振器的表面产生水分凝结，连续记录温度传感器的温度值和MEMS压电谐振器输出的谐振频率值；以步骤S2降温过程中输出的谐振频率值作为因变量y、负温度值作为自变量x，进行分段函数拟合；在拟合得到的最终函数中，分段点所对应的温度传感器的温度值，即为待测气体的露点温度。该方法拓宽了在露点测量领域可用的MEMS谐振器种类范围，也提高了测量的可靠性和精度。
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公开(公告)号：CN109717872A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811557934.X
申请日：2018-12-19
Applicant: 浙江大学
IPC: A61B5/08
Abstract: 本发明公开了一种基于压电悬臂梁的呼吸检测传感器，包括支撑层和悬臂，所述悬臂梁一端为固定端，固定于所述支撑层，另一端为自由端；悬臂梁靠近固定端的部分具有压电层，靠近自由端的部分具有湿敏层。所述压电层的上下两侧分别与一电极相连，用于信号输入和输出。湿敏层在快速吸水、脱水过程中引起悬臂梁等效质量的改变，从而改变悬臂梁的谐振频率。本发明提出了以频率为输出信号的呼吸检测传感器，检测呼吸过程中气体湿度变化，采用闭环振荡电路实时跟踪悬臂梁的谐振频率，从而满足呼吸检测的快速性与准确性的要求。
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公开(公告)号：CN209678515U
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201822145102.9
申请日：2018-12-19
Applicant: 浙江大学
IPC: A61B5/08
Abstract: 本实用新型公开了一种基于压电悬臂梁的呼吸检测传感器，包括支撑层和悬臂，所述悬臂梁一端为固定端，固定于所述支撑层，另一端为自由端；悬臂梁靠近固定端的部分具有压电层，靠近自由端的部分具有湿敏层。所述压电层的上下两侧分别与一电极相连，用于信号输入和输出。湿敏层在快速吸水、脱水过程中引起悬臂梁等效质量的改变，从而改变悬臂梁的谐振频率。本实用新型提出了以频率为输出信号的呼吸检测传感器，检测呼吸过程中气体湿度变化，采用闭环振荡电路实时跟踪悬臂梁的谐振频率，从而满足呼吸检测的快速性与准确性的要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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