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公开(公告)号：CN112490171B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202011310023.4
申请日：2020-11-20
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种基于近场声悬浮原理的盘片非接触吸附装置。包括超声振动组件、吸盘和盘片，超声振动组件安装在吸盘上，盘片置于吸盘下方；压电陶瓷连接超声电源产生高频振动，经变幅杆传递到吸盘表面；盘片置于吸盘下方，压缩气体从导气柱流入缓冲腔经环状弧形间隙流出，在盘片上方产生伯努利负压吸附硅片；高频振动的吸盘对置于其下的盘片产生近场声悬浮力，改善盘片受力均匀性，并通过橡胶钉对盘片进行水平限位。本发明通过对整个吸盘施加超声振动和环状弧形出口流道的设计，并通过橡胶钉对盘片进行水平限位，增大了盘片的非接触吸附能力，改善了硅片受力均匀性，减小了硅片的变形损伤，提高吸附能力和稳定性。
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公开(公告)号：CN111716573B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202010560300.0
申请日：2020-06-18
Applicant: 浙江大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明公开了一种可分级调节压电陶瓷预紧力的超声刀柄。包括压帽拉杆、铜片、压电陶瓷、固定杆、超声变幅杆和刀具，超声变幅杆上下两端分别安装有压帽拉杆和刀具，超声变幅杆和压帽拉杆之间交替套装有压电陶瓷和铜片；压帽拉杆主要由压帽、拉杆Ⅰ和拉杆Ⅱ由上至下同轴依次连接组成；拉杆Ⅱ底部两侧设有对称布置的外凸缘，外凸缘上端面为螺旋斜面；超声变幅杆上端面中间开有柱状空腔，柱状空腔开口处设有两个对称布置的内凸缘，拉杆Ⅱ底部外凸缘伸入柱状空腔内。本发明通过分级旋转压帽拉杆实现分级调节压电陶瓷预紧力，通过加工过程中改变预紧力，实现改变超声振动系统的谐振频率，合理增大实际能量转换效率和增大超声振幅输出。
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公开(公告)号：CN112490171A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011310023.4
申请日：2020-11-20
Applicant: 浙江大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种基于近场声悬浮原理的盘片非接触吸附装置。包括超声振动组件、吸盘和盘片，超声振动组件安装在吸盘上，盘片置于吸盘下方；压电陶瓷连接超声电源产生高频振动，经变幅杆传递到吸盘表面；盘片置于吸盘下方，压缩气体从导气柱流入缓冲腔经环状弧形间隙流出，在盘片上方产生伯努利负压吸附硅片；高频振动的吸盘对置于其下的盘片产生近场声悬浮力，改善盘片受力均匀性，并通过橡胶钉对盘片进行水平限位。本发明通过对整个吸盘施加超声振动和环状弧形出口流道的设计，并通过橡胶钉对盘片进行水平限位，增大了盘片的非接触吸附能力，改善了硅片受力均匀性，减小了硅片的变形损伤，提高吸附能力和稳定性。
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公开(公告)号：CN111716573A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010560300.0
申请日：2020-06-18
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种可分级调节压电陶瓷预紧力的超声刀柄。包括压帽拉杆、铜片、压电陶瓷、固定杆、超声变幅杆和刀具，超声变幅杆上下两端分别安装有压帽拉杆和刀具，超声变幅杆和压帽拉杆之间交替套装有压电陶瓷和铜片；压帽拉杆主要由压帽、拉杆Ⅰ和拉杆Ⅱ由上至下同轴依次连接组成；拉杆Ⅱ底部两侧设有对称布置的外凸缘，外凸缘上端面为螺旋斜面；超声变幅杆上端面中间开有柱状空腔，柱状空腔开口处设有两个对称布置的内凸缘，拉杆Ⅱ底部外凸缘伸入柱状空腔内。本发明通过分级旋转压帽拉杆实现分级调节压电陶瓷预紧力，通过加工过程中改变预紧力，实现改变超声振动系统的谐振频率，合理增大实际能量转换效率和增大超声振幅输出。
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