公开(公告)号：CN111261480A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN202010077755.7

申请日：2020-01-31

Applicant: 浙江大学

Inventor： 聂安民 ,  张奕志 ,  王宏涛 ,  田永君

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

Abstract: 具有双倾功能的透射电镜原位样品杆，包括杆身，设于杆身内、与杆身同轴的转轴和设置于转轴头端的纳米驱动器；纳米驱动器头端安装倾转台，倾转台具有与纳米驱动器固定的基座，基座上设有弹簧片和动子，动子预紧于弹簧片与基座之间，动子与弹簧片、动子与基座分别为平面接触，动子与弹簧片之间设有第一压电驱动件，基座和动子之间设有第二压电驱动件；基座上设有圆弧导轨，动子设有与圆弧导轨匹配的滑动件，动子上设有样品安装部位。本发明具有兼具原位测试功能和双轴倾转功能的优点。

公开(公告)号：CN111261480B

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：CN202010077755.7

申请日：2020-01-31

Applicant: 浙江大学

Inventor： 聂安民 ,  张奕志 ,  王宏涛 ,  田永君

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

Abstract: 具有双倾功能的透射电镜原位样品杆，包括杆身，设于杆身内、与杆身同轴的转轴和设置于转轴头端的纳米驱动器；纳米驱动器头端安装倾转台，倾转台具有与纳米驱动器固定的基座，基座上设有弹簧片和动子，动子预紧于弹簧片与基座之间，动子与弹簧片、动子与基座分别为平面接触，动子与弹簧片之间设有第一压电驱动件，基座和动子之间设有第二压电驱动件；基座上设有圆弧导轨，动子设有与圆弧导轨匹配的滑动件，动子上设有样品安装部位。本发明具有兼具原位测试功能和双轴倾转功能的优点。