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公开(公告)号：CN105268619A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510801023.7
申请日：2015-11-19
Applicant: 浙江大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明公开了一种匹配层前端带金属保护膜结构的气体超声波换能器。金属壳内从下至上依次装有塑料壳、金属压板和硬质密封胶层，导线中的两根线芯分别焊接在压电片的正极面和负极面的边缘。压电片的上端面与塑料壳中心的凸台连接，下端面嵌入匹配层上端面中心的定位槽内，压电片、匹配层和塑料壳之间填充软胶填充层，帽状金属保护膜套在塑料壳的下端面，帽状金属保护膜与匹配层下端面连接，帽状金属保护膜的帽沿与金属壳间装有密封圈。本发明具有极好的耐高压、抗腐蚀能力，适宜安装在可对含有微量固体微粒和微量液体杂质的高压气体介质的体积流量进行计量、使用低电压电源供电的气体超声波流量计中。
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公开(公告)号：CN105268619B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201510801023.7
申请日：2015-11-19
Applicant: 浙江大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明公开了一种匹配层前端带金属保护膜结构的气体超声波换能器。金属壳内从下至上依次装有塑料壳、金属压板和硬质密封胶层，导线中的两根线芯分别焊接在压电片的正极面和负极面的边缘。压电片的上端面与塑料壳中心的凸台连接，下端面嵌入匹配层上端面中心的定位槽内，压电片、匹配层和塑料壳之间填充软胶填充层，帽状金属保护膜套在塑料壳的下端面，帽状金属保护膜与匹配层下端面连接，帽状金属保护膜的帽沿与金属壳间装有密封圈。本发明具有极好的耐高压、抗腐蚀能力，适宜安装在可对含有微量固体微粒和微量液体杂质的高压气体介质的体积流量进行计量、使用低电压电源供电的气体超声波流量计中。
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公开(公告)号：CN105478333A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610060094.0
申请日：2016-01-28
Applicant: 浙江大学
IPC: B06B1/06
CPC classification number: B06B1/0644
Abstract: 本发明公开了一种对匹配层和压电片进行压力平衡的气体超声波换能器。金属外壳内从下至上依次装有匹配层、压电片、金属压板和硬质密封胶层，导线中的两根线芯分别焊接在压电片的正极面和负极面边缘，导线的屏蔽层通过金属压板与金属外壳相连接；匹配层和金属外壳间装有内底面开有两个同心圆槽的塑料壳，匹配层和压电片位于塑料壳内，压电片的上端面与塑料壳内的凸台端面相接触，压电片的下端面嵌入匹配层上端面中心的定位槽内；塑料壳圆柱面和塑料壳内的凸台沿圆周方向开有槽，且位置相对应。本发明通过开槽，实现了压力平衡，提高换能器的耐压及抗压力冲击能力，从而提高使用寿命，也保证换能器在压力波动的气体介质中仍然可以正常使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102360165B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201110294641.9
申请日：2011-09-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构。该并联机构的固定平台和运动平台之间通过三根相同的支链相连，每条支链中从运动平台到固定平台依次为移动副、球面副和转动副，其中球面副与转动副之间有连杆相连，三根连杆的轴线在同一平面内。三个移动副为驱动副，三个移动副与固定平台之间分别通过固连在固定平台一侧的三根滑轨相连。三根滑轨的轴线与固定平台垂直并沿着以固定平台的中心为圆心的圆周均布，三个转动副的轴线与运动平台垂直并沿着以运动平台中心为圆心的圆周均布。本发明可用于少自由度并联机构适用的场合，也可用于浸没式光刻中对安装在运动平台上的浸没单元进行位姿调整，对于安装空间要求苛刻的场合尤为适用。
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公开(公告)号：CN102360165A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201110294641.9
申请日：2011-09-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构。该并联机构的固定平台和运动平台之间通过三根相同的支链相连，每条支链中从运动平台到固定平台依次为移动副、球面副和转动副，其中球面副与转动副之间有连杆相连，三根连杆的轴线在同一平面内。三个移动副为驱动副，三个移动副与固定平台之间分别通过固连在固定平台一侧的三根滑轨相连。三根滑轨的轴线与固定平台垂直并沿着以固定平台的中心为圆心的圆周均布，三个转动副的轴线与运动平台垂直并沿着以运动平台中心为圆心的圆周均布。本发明可用于少自由度并联机构适用的场合，也可用于浸没式光刻中对安装在运动平台上的浸没单元进行位姿调整，对于安装空间要求苛刻的场合尤为适用。
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公开(公告)号：CN205199872U
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201520925974.0
申请日：2015-11-19
Applicant: 浙江大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本实用新型公开了一种匹配层前端带金属保护膜结构的气体超声波换能器。金属壳内从下至上依次装有塑料壳、金属压板和硬质密封胶层，导线中的两根线芯分别焊接在压电片的正极面和负极面的边缘。压电片的上端面与塑料壳中心的凸台连接，下端面嵌入匹配层上端面中心的定位槽内，压电片、匹配层和塑料壳之间填充软胶填充层，帽状金属保护膜套在塑料壳的下端面，帽状金属保护膜与匹配层下端面连接，帽状金属保护膜的帽沿与金属壳间装有密封圈。本实用新型具有极好的耐高压、抗腐蚀能力，适宜安装在可对含有微量固体微粒和微量液体杂质的高压气体介质的体积流量进行计量、使用低电压电源供电的气体超声波流量计中。
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公开(公告)号：CN205518510U
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201620086190.8
申请日：2016-01-28
Applicant: 浙江大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本实用新型公开了一种对匹配层和压电片进行压力平衡的气体超声波换能器。金属外壳内从下至上依次装有匹配层、压电片、金属压板和硬质密封胶层，导线中的两根线芯分别焊接在压电片的正极面和负极面边缘，导线的屏蔽层通过金属压板与金属外壳相连接；匹配层和金属外壳间装有内底面开有两个同心圆槽的塑料壳，匹配层和压电片位于塑料壳内，压电片的上端面与塑料壳内的凸台端面相接触，压电片的下端面嵌入匹配层上端面中心的定位槽内；塑料壳圆柱面和塑料壳内的凸台沿圆周方向开有槽，且位置相对应。本实用新型通过开槽，实现了压力平衡，提高换能器的耐压及抗压力冲击能力，从而提高使用寿命，也保证换能器在压力波动的气体介质中仍然可以正常使用。
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公开(公告)号：CN202306139U
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201120370665.3
申请日：2011-09-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型公开了一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构。该并联机构的固定平台和运动平台之间通过三根相同的支链相连，每条支链中从运动平台到固定平台依次为移动副、球面副和转动副，其中球面副与转动副之间有连杆相连，三根连杆的轴线在同一平面内。三个移动副为驱动副，三个移动副与固定平台之间分别通过固连在固定平台一侧的三根滑轨相连。三根滑轨的轴线与固定平台垂直并沿着以固定平台的中心为圆心的圆周均布，三个转动副的轴线与运动平台垂直并沿着以运动平台中心为圆心的圆周均布。本实用新型可用于少自由度并联机构适用的场合，也可用于浸没式光刻中对安装在运动平台上的浸没单元进行位姿调整，对于安装空间要求苛刻的场合尤为适用。
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