公开(公告)号：CN116851911A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202310976585.X

申请日：2022-02-16

Applicant: 浙江大学

Inventor： 陈冲 ,  张帆 ,  熊昕 ,  吴重光 ,  陈远流

IPC: B23K26/0622 ,  B23K26/70 ,  B23K26/362

Abstract: 本发明涉及飞秒激光技术领域，涉及一种三维表面形貌在线测量方法，包括：获得非加工状态下的加工点的光电流信号I0；在加工过程中，接收待加工元件反射回来的飞秒激光束，并分成两束激光光束，分别传递给第一光电探测器和第二光电探测器；对光电流强度实时解码并依据提前标定的光电流强度解码IAM和轴向深度Z之间的对应关系，获得该加工点表面的轴向深度Z；绘制出加工元件的加工区域的三维形貌。

公开(公告)号：CN114523192A

公开(公告)日：2022-05-24

申请号：CN202210141374.X

申请日：2022-02-16

Applicant: 浙江大学

Inventor： 陈冲 ,  张帆 ,  熊昕 ,  吴重光 ,  陈远流

IPC: B23K26/03 ,  B23K26/064 ,  B23K26/067 ,  B23K26/08 ,  B23K26/36

Abstract: 本发明涉及飞秒激光技术领域，涉及一种三维表面形貌及温度在线测量方法，包括：获得非加工状态下的加工点的光电流信号I0；在加工过程中，接收待加工元件反射回来的飞秒激光束，并分成两束激光光束，分别传递给第一光电探测器和第二光电探测器；对光电流强度实时解码并依据提前标定的光电流强度解码IAM和轴向深度Z之间的对应关系，获得该加工点表面的轴向深度Z；依据提前标定的反射率R和温度T之间的关系，获得该加工点表面的温度T，绘制出加工元件的加工区域的三维温度分布图。