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公开(公告)号：CN113607084B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202110916532.X
申请日：2021-08-11
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉及SPGD的亚毫米沟槽结构的测量方法。包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量待测沟槽样品的结构，相机探测采集待测沟槽样品的等光程干涉图；进行灰度处理后获得沟槽灰度干涉图，计算沟槽灰度干涉图的对比度和高频信息量；随机生成多项式系数，利用SPGD算法对多项式系数进行迭代优化后，获得优化后的多项式系数；控制变形镜对光路光程进行补偿，移动变形镜或待测沟槽样品，相机采集获得一组光程补偿后的沟槽干涉图及每张沟槽干涉图对应的编号；使用重心法进行图像重建，获得待测沟槽样品的三维结构重建图。本发明实现对亚毫米级别高深宽比结构沟槽进行形貌检测，探测结构的深度可达到毫米级别。
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公开(公告)号：CN113465534A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110710393.5
申请日：2021-06-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉的微纳深沟槽结构快速测量方法。本发明包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量沟槽的结构，CCD相机采集获得多组沟槽干涉图及各组中每张沟槽干涉图对应的编号；对沟槽样品的各组沟槽干涉图进行处理后，获得各组沟槽干涉图的最大对比度与局部结构三维重建图；提取各组沟槽干涉图对应的局部结构三维重建图中的分界面重建图；将所有组沟槽干涉图对应的分界面重建图进行拼接后获得沟槽样品的三维结构重建图，根据三维结构重建图测量沟槽样品的深度和宽度。本发明光路更为简洁，方法能对亚毫米级别的沟槽结构进行探测，宽度达到几百微米，深度达到几毫米，测量速度得到很大提升。
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公开(公告)号：CN113465534B
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202110710393.5
申请日：2021-06-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉的微纳深沟槽结构快速测量方法。本发明包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量沟槽的结构，CCD相机采集获得多组沟槽干涉图及各组中每张沟槽干涉图对应的编号；对沟槽样品的各组沟槽干涉图进行处理后，获得各组沟槽干涉图的最大对比度与局部结构三维重建图；提取各组沟槽干涉图对应的局部结构三维重建图中的分界面重建图；将所有组沟槽干涉图对应的分界面重建图进行拼接后获得沟槽样品的三维结构重建图，根据三维结构重建图测量沟槽样品的深度和宽度。本发明光路更为简洁，方法能对亚毫米级别的沟槽结构进行探测，宽度达到几百微米，深度达到几毫米，测量速度得到很大提升。
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公开(公告)号：CN113607084A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110916532.X
申请日：2021-08-11
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉及SPGD的亚毫米沟槽结构的测量方法。包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量待测沟槽样品的结构，相机探测采集待测沟槽样品的等光程干涉图；进行灰度处理后获得沟槽灰度干涉图，计算沟槽灰度干涉图的对比度和高频信息量；随机生成多项式系数，利用SPGD算法对多项式系数进行迭代优化后，获得优化后的多项式系数；控制变形镜对光路光程进行补偿，移动变形镜或待测沟槽样品，相机采集获得一组光程补偿后的沟槽干涉图及每张沟槽干涉图对应的编号；使用重心法进行图像重建，获得待测沟槽样品的三维结构重建图。本发明实现对亚毫米级别高深宽比结构沟槽进行形貌检测，探测结构的深度可达到毫米级别。
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