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公开(公告)号：CN115060410B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202210650397.3
申请日：2022-06-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种测量超薄液膜壁面压力的平膜式压力传感器及制备工艺。传感阵列嵌入在被测壁面内，传感阵列包括多个传感单元，每个传感单元中，被测壁面内部开设有阶梯状油腔，在被测壁面背面开设充油孔，充油孔和阶梯状油腔侧旁连通；PVDF膜安装孔位处固定嵌装PVDF膜片与被测壁面齐平，压力传感芯片安装孔位处固定布置MEMS压力传感芯片；在真空条件下，在粘贴了MEMS压力芯片和PVDF膜片后进行真空注液工艺。本发明结构对原流场的干扰最小化，规避引压孔结构引起的测量误差，实现5mm的空间阵列排布，提升传感器的动态响应性能，结构紧凑，能在1kPa的量程内达到千分之二的测量精度。
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公开(公告)号：CN115060410A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210650397.3
申请日：2022-06-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种测量超薄液膜壁面压力的平膜式压力传感器及制备工艺。传感阵列嵌入在被测壁面内，传感阵列包括多个传感单元，每个传感单元中，被测壁面内部开设有阶梯状油腔，在被测壁面背面开设充油孔，充油孔和阶梯状油腔侧旁连通；PVDF膜安装孔位处固定嵌装PVDF膜片与被测壁面齐平，压力传感芯片安装孔位处固定布置MEMS压力传感芯片；在真空条件下，在粘贴了MEMS压力芯片和PVDF膜片后进行真空注液工艺。本发明结构对原流场的干扰最小化，规避引压孔结构引起的测量误差，实现5mm的空间阵列排布，提升传感器的动态响应性能，结构紧凑，能在1kPa的量程内达到千分之二的测量精度。
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