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公开(公告)号：CN118099031A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410123483.8
申请日：2024-01-29
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: H01L21/67 , C30B33/02 , H01L21/324 , H01L21/477
Abstract: 本发明涉及一种晶圆退火设备，包括：加热台，该加热台包括加热腔体，该加热台具有设置于该加热腔体内的多个容纳槽和气流通道，该气流通道包括开设于该加热腔体的进气口，开设于该容纳槽的槽壁的多个加热口以及开设于该加热腔体内的通道主体，该通道主体连通该进气口和该加热口；旋转炉，该旋转炉可转动地设置于该加热台的外侧，且该旋转炉的内壁贴合于该加热台的外壁；以及驱动装置，该驱动装置可传动地连接于该旋转炉，以带动该旋转炉绕该加热台转动。上述晶圆退火设备通过驱动旋转炉高速转动，能够提供均匀稳定的热量，均匀地加热气流通道内的气体，以为晶圆退火提供稳定的热源。
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公开(公告)号：CN114334130A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111605249.1
申请日：2021-12-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于脑对称性的PET分子影像计算机辅助诊断系统，该系统包括：影像采集及预处理模块，非对称脑模板构建模块，对称脑模板构建模块，对称性分析模块和辅助诊断模块。本发明系统根据正常脑PET分子影像构建了非对称脑模板，并进一步构建了对称脑模板；之后将个体影像配准到对称脑模板空间，以获得对称结构的先验知识，并使用对称微分同胚算法引入个体图像信息，获取体素级别的脑结构对称关系；最后综合利用病灶区域及其对称脑区的代谢或受体信息，辅助提高PET分子影像的诊断能力。
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公开(公告)号：CN110390351B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201910549416.1
申请日：2019-06-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于深度学习的致痫灶三维自动定位系统，该系统包括：PET图像采集和标记模块；PET图像与标准对称脑模版的配准模块；PET图像数据预处理模块，生成左右脑图像块的镜像对；孪生网络SiameseNet训练模块，包含两个共享权重参数的深度残差卷积神经网络，输出层连接多层感知机和softmax层，利用携带致痫灶的图像和正常图像的训练集对所述网络进行训练获得网络模型；分类模块和致痫灶定位模块，利用训练好的网络模型对新输入的PET图像生成概率热图，先通过分类器判断图像为正常或者携带致痫灶样本，再预测致痫灶区域的位置。该系统通过引入图像块的镜像对和孪生网络SiameseNet，来自动定位PET图像的致痫灶，能有效地提高致痫灶定位的准确度和效率，并具有较高的鲁棒性。
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公开(公告)号：CN110390351A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201910549416.1
申请日：2019-06-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于深度学习的致痫灶三维自动定位系统，该系统包括：PET图像采集和标记模块；PET图像与标准对称脑模版的配准模块；PET图像数据预处理模块，生成左右脑图像块的镜像对；孪生网络SiameseNet训练模块，包含两个共享权重参数的深度残差卷积神经网络，输出层连接多层感知机和softmax层，利用携带致痫灶的图像和正常图像的训练集对所述网络进行训练获得网络模型；分类模块和致痫灶定位模块，利用训练好的网络模型对新输入的PET图像生成概率热图，先通过分类器判断图像为正常或者携带致痫灶样本，再预测致痫灶区域的位置。该系统通过引入图像块的镜像对和孪生网络SiameseNet，来自动定位PET图像的致痫灶，能有效地提高致痫灶定位的准确度和效率，并具有较高的鲁棒性。
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公开(公告)号：CN109639737A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910074594.3
申请日：2019-01-25
Applicant: 浙江大学
IPC: H04L29/06
CPC classification number: H04L69/08
Abstract: 本发明公开了一种协议发生装置，包括连接数据采集终端与数据传输单元的协议处理模块、安装于上位机内的协议设置软件模块和协议文件储存模块，所述协议处理模块用于处理数据采集终端到数据传输单元过程中的协议转换，所述协议设置软件模块用于实现通过上位机对协议处理模块进行配置，所述协议文件储存模块用于存储协议格式。该装置将不同硬件接口的数据采集终端和数据传输单元连接，通过上位机中的软件实现用户按需求自由定义，可以包含若干种常用的协议类型和由各字段构成的任意协议以及数据输出数量，能够实现数据按照不同服务器的通讯要求进行打包，无需对硬件设备更改的条件下实现数据采集终端与多服务器的通讯和切换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103713457A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310673550.5
申请日：2013-12-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于360°环幕多投影系统的几何校正装置，包括环形屏幕，用于向环形屏幕投影图像的多投影阵列，和与所述多投影阵列连接的控制器，所述的环形屏幕上设有标准点列图，该标准点列图上分布标准点阵列，并设有通过多投影阵列投影到环形屏幕上的预畸变点列图，还包括用于采集所述环形屏幕上显示图像的图像获取设备，所述的控制器还用于接收所述图像获取设备所拍摄的图像并进行分析校正。本发明还公开了一种用于360°环幕多投影系统的几何校正方法。本发明操作简便，通过初始设置后，校正过程不需要人工干预，自动化程度高。
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公开(公告)号：CN117238819A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311004822.2
申请日：2023-08-10
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: H01L21/677 , C30B23/02
Abstract: 本发明涉及一种晶圆移动装置和半导体生产设备。一种晶圆移动装置，包括：抓取组件，抓取组件用于抓取晶圆；第一驱动件，第一驱动件连接于抓取组件，并用于驱动抓取组件开合；移动臂，连接于抓取组件，移动臂包括多个依次连接的移动段，移动段之间可转动地连接；移动段的端面为倾斜面，将倾斜面与所在的移动段的轴线之间的锐角夹角记为活动角度，多个移动段之间的移动角度之和为预设角度，预设角度为移动臂的最大活动角度；多个第二驱动件，每个第二驱动件连接于一个移动段，第二驱动件用于驱动移动段转动。如此设置，使得晶圆移动装置取放晶圆不需要人工操作，并且操作简单，移动精度高，避免污染物进入的同时提高了产品的良品率。
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公开(公告)号：CN117214000A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202310961299.6
申请日：2023-08-01
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本申请涉及一种剪切蠕变测试装置，剪切蠕变测试装置包括支架、夹具组件和传动组件；夹具组件用于夹持试样，夹具组件包括均可转动地连接于支架的第一转盘和第二转盘，第一转盘和第二转盘分别用于夹持试样的两端；传动组件包括第一传动组和第二传动组，第一传动组连接于第一转盘以使第一转盘转动，第二传动组连接于第二转盘以使第二转盘与第一转盘反向转动。上述方案中所提供的剪切蠕变测试装置，能够应用于块状金属剪切蠕变力学性能测试，填补了块状金属剪切蠕变力学性能测试装置的空缺，从而能够实现块状金属剪切蠕变力学性能测试，以更全面地了解金属的力学性能。
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公开(公告)号：CN117153708A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311080148.6
申请日：2023-08-24
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: H01L21/66 , H01L21/687 , H01L21/683
Abstract: 本申请提供一种晶圆检测装置及晶圆检测方法，涉及半导体技术领域。一种晶圆检测装置，包括载物盘和感应组件；载物盘构造有用于放置晶圆的支撑部；感应组件安装于载物盘沿第一方向的一侧，并与支撑部相对布置；感应组件包括多个间隔布设的探测端，各个探测端具有柔性触头，且各个探测端能够沿第一方向伸缩。探测端可以接触晶圆，通过直接接触的方式进行晶圆的检测，利于直接获取晶圆表面的数据，使检测更加准确。其中，柔性触头的设置利于在与晶圆接触时避免划伤晶圆表面。同时，可伸缩的探测端可以适配各种不同表面情况的晶圆，以针对不同的晶圆表面调整探测端伸出的长度，以确保各个探测端均可以接触晶圆表面，提高检测的准确性，减小误差。
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公开(公告)号：CN116735374A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310545854.7
申请日：2023-05-12
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心 , 深海技术科学太湖实验室
Abstract: 本发明涉及一种弯曲蠕变试验装置。所述弯曲蠕变试验装置包括机架本体、固定组件、驱动组件、折弯组件以及测量组件；所述固定组件装设于所述机架本体用于固定物料的一端；所述驱动组件包括装设于所述机架本体的驱动机构、装设于所述机架本体用于与物料抵接的支撑件及与所述驱动机构驱动连接的驱动臂；所述折弯组件滑动连接于所述驱动臂，用于固定该物料的另一端；所述驱动臂在所述驱动机构的驱动下，带动所述折弯组件绕着所述支撑件转动，用于折弯该物料；所述测量组件被设置用于对被折弯的该物料进行弯曲蠕变测量。本发明解决了现有的测量结构在施加载荷时容易产生滑动的技术问题。
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