公开(公告)号：CN203464912U

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201320584176.7

申请日：2013-09-22

Applicant: 浙江大学

Inventor： 曹衍龙 ,  吴紫涧 ,  管佳燕 ,  徐朋 ,  李博 ,  张哲嘉 ,  吴涛 ,  周威杰 ,  叶雪峰 ,  赵奎

IPC: G01B11/30

Abstract: 表面形貌抗振干涉测量系统，包括白光光源，声光可调滤光器，第一分光镜，第二分光镜，测量模块和补偿模块；声光可调滤光器依次与驱动器，单片机扫频模块和声光可调滤光器与DSP模块控制单元连接，单片机扫频模块由声光可调滤光器与DSP模块控制单元触发；测量模块包括CCD相机和计算机，测量模块工作时单片机扫频模块采用低速扫频模式，声光可调滤光器与DSP模块控制单元受控于计算机；补偿模块包括光电探测器，DSP控制模块和压电陶瓷，补偿模块工作时单片机扫频模块采用高速扫频模式。本实用新型具有只需使用一个光源即可实现振动补偿的，能够实现在线测量，结构简单、价格低廉的优点。