公开(公告)号：CN1193728A

公开(公告)日：1998-09-23

申请号：CN98110634.X

申请日：1998-01-21

Applicant: 浙江大学

Inventor： 卓永模 ,  杨甬英 ,  徐敏 ,  张为权

IPC: G01B11/24

Abstract: 一种激光双焦干涉球面轮廓仪,共特征是设有双焦透镜组4和五维扫描工作台6。同现有技术比较,其优点是仪器抗干扰能力强,适用范围广,检测精度高,如能对各种反射率的球面微观轮廓和平面微观轮廓进行精密检测,纵向分辨率为0.1nm,横向分辨率为1μm。

公开(公告)号：CN1060268C

公开(公告)日：2001-01-03

申请号：CN98110634.X

申请日：1998-01-21

Applicant: 浙江大学

Inventor： 卓永模 ,  杨甬英 ,  徐敏 ,  张为权

IPC: G01B11/24

Abstract: 一种激光双焦干涉球面轮廓仪，其特征是设有双焦透镜组4和五维扫描工作台6。同现有技术比较，其优点是仪器抗干扰能力强，适用范围广，检测精度高，如能对各种反射率的球面微观轮廓和平面微观轮廓进行精密检测，纵向分辨率为0.1nm，横向分辨率为1μm。

公开(公告)号：CN2320982Y

公开(公告)日：1999-05-26

申请号：CN98223137.7

申请日：1998-01-21

Applicant: 浙江大学

Inventor： 卓永模 ,  杨甬英 ,  徐敏 ,  张为权

IPC: G01B11/24

Abstract: 一种激光双焦干涉球面轮廓仪,其特征是设有双焦透镜组4和五维扫描工作台6。同现有技术比较,其优点是仪器抗干扰能力强,适用范围广,检测精度高,如能对各种反射率的球面微观轮廓和平面微观轮廓进行精密检测,纵向分辩率为0.1nm,横向分辩率为1μm。