用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置

    公开(公告)号:CN102902166B

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201210403590.3

    申请日:2012-10-22

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 傅新 刘琦 陈文昱

    Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置。旋转滚子密封装置是在投影透镜组和衬底之间的装置,由内构件、外构件、端盖和滚子组成。在光刻扫描过程中,浸没液体伴随衬底高速运动的牵拉作用,将产生与衬底运动方向一致的液体流动。该装置采用旋转滚子密封结构,通过动态调节滚子的旋转速度与方向,使得外围浸没液体获得抵抗衬底运动带来的流动。本发明可有效抵抗衬底牵拉运动产生的向外泄漏动能,在结合外围气体密封下进一步增强抑制液体泄漏的能力;此外本发明在浸没液体边界处可有效抵抗密封气体带来的冲击压力,并抑制气密封压力过大导致的液体边界气泡卷吸,从而有助于实现浸没流场密封的可靠性与稳定性。

    高定向RFID手持阅读器天线

    公开(公告)号:CN103794863A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201410022637.0

    申请日:2014-01-17

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 刘琦 何赛灵

    Abstract: 本发明公开了一种高定向RFID手持阅读器天线。本发明包括FR4基底、金属Moxon结构及馈电平行双线,在FR4基底上设置有金属莫克森结构及馈电平行双线,其中金属莫克森结构为包括主振子和反射器,主振子和反射器之间存在设定间隙,主振子和反射器的两端均向天线中间延伸,馈电平行双线分别处于基板的两面,采用弯折结构。本发明不仅实现了高定向,而且还具有尺寸小,增益大,前后比高,机身及人体影响小,结构简单,成本低等优点。

    枣糕型结构杂多酸离子液体负载氨基化磁性复合材料、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN109908962A

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201910159108.8

    申请日:2019-03-04

    Abstract: 本发明公开一种枣糕型结构杂多酸离子液体负载氨基化磁性复合材料、制备方法及应用,该复合材料制备原料包括杂多酸离子液体和氨基化磁性复合材料,通过超声浸渍法将杂多酸离子液体负载于氨基化纳米磁性材料上得到复合材料。制备步骤为:先分别采用取代反应制备杂多酸离子液体、溶剂热法制备氨基化磁性复合材料,再采用超声负载方法制备杂多酸离子液体负载氨基化磁性复合材料。本发明方法获得的产品呈粉末状,棕褐色,粒度分布均匀,具有枣糕型结构,性质稳定。克服了磁性材料容易团聚的缺点,所得材料分散性好、磁性能高、原料易得、产率高;兼具磁性和催化活性,可有效用于石油样品脱硫的催化剂,催化剂可分离回收循环使用。

    纽扣型RFID标签
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104915709A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201510315051.8

    申请日:2015-06-10

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 刘琦 何赛灵

    Abstract: 本发明公开了一种新型的三维结构RFID标签。本发明包括纽扣型ABS基底、弯折偶极子天线以及耦合馈电环;ABS基底采用3D打印的三维纽扣型结构,包括圆形顶面、圆形底面和过段侧壁;偶极子天线在基底底面为直线与扇形结构组合,该直线结构过底面圆心,将两段中心对称设置的扇形结构串接在一起;每段扇形结构远离直线的一端通过过段侧壁延伸到基底顶面,偶极子天线在基底顶面也为中心对称设置的扇形结构;耦合馈电环位于基底底面偶极子天线的直线结构旁边,加载一个Alien Higgs 4 RFID芯片。本发明不仅克服了传统RFID的平面尺寸限制,而且还具有尺寸小,全向性好,结构简单,成本低,应用方便,适用范围广等优点。

    基于超材料结构的手机可调频天线

    公开(公告)号:CN104051845A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201410223593.8

    申请日:2014-05-23

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 刘琦 何赛灵

    Abstract: 本发明陈述了一种基于超材料结构的手机可调频天线,采用容性加载环(CLL)这一构成超材料的单元结构直接作为天线的辐射体,同时采用感性耦合馈电,实现良好匹配的小型化天线。结合频率可重构技术,加载变容二极管,实现频率可调。本发明中天线基底采用的是FR4材料,是天线加工中最常用的基底材料之一。而其他结构都是用铜蚀刻加工制作而成,成本低廉且加工方便。综上所述,设计出的手机可调频天线不仅实现了频率可调,而且还具有尺寸小,结构简单,成本低等优点,因此有着广阔的应用价值和市场潜力。

    用于浸没式光刻机的阶梯式自适应气体密封装置

    公开(公告)号:CN102880016B

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201210403386.1

    申请日:2012-10-22

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 傅新 刘琦 陈文昱

    Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的阶梯式自适应气体密封装置。该气体密封装置是在投影透镜组和衬底之间的装置,由上构件、下构件和旋转构件组成。在光刻扫描过程中,伴随衬底高速运动对浸没液体的牵拉作用,浸没流场的边界形态会发生迅速变化。该装置内部采用多层阶梯式气密封结构,从中心向外部气密封压力逐渐升高,并且根据衬底的运动方向及速度大小实时调整各层气体的密封压力大小,从而抑制外围气密封压力不足导致浸没液体的泄漏,及内部气密封压力过大导致的气泡卷吸,实现液体的自适应气体密封。同时,在该装置外部采用旋转气流辅助密封,进一步提高了气体密封的可靠性与稳定性。

    用于浸没式光刻机的阶梯式自适应气体密封装置

    公开(公告)号:CN102880016A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201210403386.1

    申请日:2012-10-22

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 傅新 刘琦 陈文昱

    Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的阶梯式自适应气体密封装置。该气体密封装置是在投影透镜组和衬底之间的装置,由上构件、下构件和旋转构件组成。在光刻扫描过程中,伴随衬底高速运动对浸没液体的牵拉作用,浸没流场的边界形态会发生迅速变化。该装置内部采用多层阶梯式气密封结构,从中心向外部气密封压力逐渐升高,并且根据衬底的运动方向及速度大小实时调整各层气体的密封压力大小,从而抑制外围气密封压力不足导致浸没液体的泄漏,及内部气密封压力过大导致的气泡卷吸,实现液体的自适应气体密封。同时,在该装置外部采用旋转气流辅助密封,进一步提高了气体密封的可靠性与稳定性。

    用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置

    公开(公告)号:CN102902166A

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201210403590.3

    申请日:2012-10-22

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 傅新 刘琦 陈文昱

    Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置。旋转滚子密封装置是在投影透镜组和衬底之间的装置,由内构件、外构件、端盖和滚子组成。在光刻扫描过程中,浸没液体伴随衬底高速运动的牵拉作用,将产生与衬底运动方向一致的液体流动。该装置采用旋转滚子密封结构,通过动态调节滚子的旋转速度与方向,使得外围浸没液体获得抵抗衬底运动带来的流动。本发明可有效抵抗衬底牵拉运动产生的向外泄漏动能,在结合外围气体密封下进一步增强抑制液体泄漏的能力;此外本发明在浸没液体边界处可有效抵抗密封气体带来的冲击压力,并抑制气密封压力过大导致的液体边界气泡卷吸,从而有助于实现浸没流场密封的可靠性与稳定性。

    枣糕型结构杂多酸离子液体负载氨基化磁性复合材料、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN109908962B

    公开(公告)日:2022-01-18

    申请号:CN201910159108.8

    申请日:2019-03-04

    Abstract: 本发明公开一种枣糕型结构杂多酸离子液体负载氨基化磁性复合材料、制备方法及应用,该复合材料制备原料包括杂多酸离子液体和氨基化磁性复合材料,通过超声浸渍法将杂多酸离子液体负载于氨基化纳米磁性材料上得到复合材料。制备步骤为:先分别采用取代反应制备杂多酸离子液体、溶剂热法制备氨基化磁性复合材料,再采用超声负载方法制备杂多酸离子液体负载氨基化磁性复合材料。本发明方法获得的产品呈粉末状,棕褐色,粒度分布均匀,具有枣糕型结构,性质稳定。克服了磁性材料容易团聚的缺点,所得材料分散性好、磁性能高、原料易得、产率高;兼具磁性和催化活性,可有效用于石油样品脱硫的催化剂,催化剂可分离回收循环使用。

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