公开(公告)号：CN107192337B

公开(公告)日：2020-02-07

申请号：CN201710417296.0

申请日：2017-06-06

Applicant: 济南大学

Inventor： 黄继阳 ,  赵相斌 ,  尹秀

IPC: G01B11/02

Abstract: 一种基于单缝衍射原理利用CCD测量微小位移的方法，通过两条平行单缝，一条为定标狭缝(缝宽已知)，另一条为测量狭缝(缝宽可变)，两条单缝分别衍射，两条狭缝得到的不同衍射图像会由凸透镜汇聚到透镜的焦平面上，然后由CCD器件进行采集。图像传输到软件中进行下一步的分析计算，最后计算出缝宽的变换，也就是微小位移量。操作方便，实现自动化测量，同时利用衍射系统测量位移，其测量精度高，在测量中实现了自动化、智能化、高精度的测量微小位移量。

公开(公告)号：CN107192337A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201710417296.0

申请日：2017-06-06

Applicant: 济南大学

Inventor： 黄继阳 ,  赵相斌 ,  尹秀

IPC: G01B11/02

Abstract: 一种基于单缝衍射原理利用CCD测量微小位移的方法，通过两条平行单缝，一条为定标狭缝(缝宽已知)，另一条为测量狭缝(缝宽可变)，两条单缝分别衍射，两条狭缝得到的不同衍射图像会由凸透镜汇聚到透镜的焦平面上，然后由CCD器件进行采集。图像传输到软件中进行下一步的分析计算，最后计算出缝宽的变换，也就是微小位移量。操作方便，实现自动化测量，同时利用衍射系统测量位移，其测量精度高，在测量中实现了自动化、智能化、高精度的测量微小位移量。