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公开(公告)号：CN202688004U
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201220346476.7
申请日：2012-07-18
Applicant: 济南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种纳米氧化锌自动制备系统，包括超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉，其特征是：所述超声喷雾装置、衬底、高压釜和马弗炉都连接控制器，所述控制器连接机械手。本实用新型减少晶种层制备的时间，能耗少，对衬底质量要求低，且能生长出结晶质量好的纳米氧化锌结构，易于实现大规模生产。
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