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公开(公告)号：CN108972305B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN201811117952.6
申请日：2018-09-25
Applicant: 河南科技学院
Abstract: 本发明公开一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，包括六个抛光辊装置，六个抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。本发明提供的卷到卷高效连续化学机械抛光机，用于超薄柔性显示衬底的Roll‑to‑Roll高效生产，可实现与柔性显示器的制造形成无缝对接，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN108393793B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201810296131.7
申请日：2018-04-04
Applicant: 河南科技学院
IPC: B24B37/30
Abstract: 一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，它包括.吸盘（11），其特征是所述的吸盘（11）的中心设有一个活塞腔（14），活塞（（7）安装在活塞腔（14）中，活塞（7）通过安装有测微部件的调节螺旋体（10）与气缸盖（15）相连，转动调节螺旋体（10）即可调节活塞在活塞腔（14）中的位置，进而调节活塞下部的活塞腔中的压力；活塞腔（14）的下部开设有吸气孔（16），吸气孔产生负压将安装在吸盘（11）下部的工件（1）吸住；在气缸盖（15）上安装有测量吸盘（11）相对位移从而判定工件研抛量的位移传感器（12）。本发明结构简单，粘结可靠，装拆方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108972305A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811117952.6
申请日：2018-09-25
Applicant: 河南科技学院
Abstract: 本发明公开一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，包括六个抛光辊装置，六个抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。本发明提供的卷到卷高效连续化学机械抛光机，用于超薄柔性显示衬底的Roll-to-Roll高效生产，可实现与柔性显示器的制造形成无缝对接，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN108393793A
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201810296131.7
申请日：2018-04-04
Applicant: 河南科技学院
IPC: B24B37/30
Abstract: 一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，它包括.吸盘（11），其特征是所述的吸盘（11）的中心设有一个活塞腔（14），活塞（（7）安装在活塞腔（14）中，活塞（7）通过安装有测微部件的调节螺旋体（10）与气缸盖（15）相连，转动调节螺旋体（10）即可调节活塞在活塞腔（14）中的位置，进而调节活塞下部的活塞腔中的压力；活塞腔（14）的下部开设有吸气孔（16），吸气孔产生负压将安装在吸盘（11）下部的工件（1）吸住；在气缸盖（15）上安装有测量吸盘（11）相对位移从而判定工件研抛量的位移传感器（12）。本发明结构简单，粘结可靠，装拆方便。
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公开(公告)号：CN108500843B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201810294365.8
申请日：2018-04-04
Applicant: 河南科技学院
IPC: B24B53/017 , B24B49/16
Abstract: 一种用于固结磨料研抛垫的磨料射流自适应修整方法，其特征是它包括以下步骤：首先，通过图像识别获得研抛垫不同表面状态的特征，如锋利状态、钝化状态等；通过摩擦力信号获得研抛垫不同表面状态特征；其次，建立人工神经元网络，获得图像及摩擦力特征与加工效率、质量等之间的映射关系；第三，在实际加工时，同时在线测量图像、摩擦力信号并提取特征，再根据加工需求，自适应判断是否需要对研抛垫修整以及采用什么样的修整参数。本发明修整效率高而及时，能明显提高研抛质量。
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公开(公告)号：CN108500843A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810294365.8
申请日：2018-04-04
Applicant: 河南科技学院
IPC: B24B53/017 , B24B49/16
Abstract: 一种用于固结磨料研抛垫的磨料射流自适应修整方法，其特征是它包括以下步骤：首先，通过图像识别获得研抛垫不同表面状态的特征，如锋利状态、钝化状态等；通过摩擦力信号获得研抛垫不同表面状态特征；其次，建立人工神经元网络，获得图像及摩擦力特征与加工效率、质量等之间的映射关系；第三，在实际加工时，同时在线测量图像、摩擦力信号并提取特征，再根据加工需求，自适应判断是否需要对研抛垫修整以及采用什么样的修整参数。本发明修整效率高而及时，能明显提高研抛质量。
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公开(公告)号：CN208759292U
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201821565085.8
申请日：2018-09-25
Applicant: 河南科技学院
Abstract: 本实用新型公开一种卷到卷高效连续化学机械抛光机，包括六个抛光辊装置，六个抛光辊装置前后分别设置有第一水平调速检测装置和第二水平调速检测装置，所述第一水平调速检测装置外侧设置有放卷装置，所述第二水平调速检测装置外侧设置有收卷装置；所述第二水平调速检测装置与所述抛光辊装置之间设置有清洗干燥装置；所述抛光辊装置上安装有抛光辊，所述抛光辊一侧设置有喷淋装置，所述抛光辊装置底部设置有废液收集箱。本实用新型提供的卷到卷高效连续化学机械抛光机，用于超薄柔性显示衬底的Roll-to-Roll高效生产，可实现与柔性显示器的制造形成无缝对接，提高了生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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