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公开(公告)号：CN107768483B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201711036820.6
申请日：2017-10-30
Applicant: 河南科技大学
Abstract: 本发明提供了一种全打印氧化锌紫外探测器的制备方法，在制备氧化锌紫外光探测器的方法中，通过合适配比的盐酸、柠檬酸、聚乙二醇和水混合溶液，并使用所述混合溶液直接采用打印法形成ITO沟槽，所述混合溶液能够降低其对衬底的浸润性，降低对ITO腐蚀时由于侧边腐蚀难易控制图案边缘造成的打印图形和形成的沟槽图形严重不符的现象。并且在制备方法中按照分散点状打印纳米银墨水，通过Ag纳米颗粒与ZnO之间形成表面等离子共振产生强烈的光吸收。该制备方法简单，成本低，可操作性强；并且采用打印方式形成ITO沟槽，与传统的图形化光刻与酸腐蚀导电层方法制作电极图形的方法相比，不会造成大量腐蚀液排放污染。
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公开(公告)号：CN107768483A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201711036820.6
申请日：2017-10-30
Applicant: 河南科技大学
Abstract: 本发明提供了一种全打印氧化锌紫外探测器的制备方法，在制备氧化锌紫外光探测器的方法中，通过合适配比的盐酸、柠檬酸、聚乙二醇和水混合溶液，并使用所述混合溶液直接采用打印法形成ITO沟槽，所述混合溶液能够降低其对衬底的浸润性，降低对ITO腐蚀时由于侧边腐蚀难易控制图案边缘造成的打印图形和形成的沟槽图形严重不符的现象。并且在制备方法中按照分散点状打印纳米银墨水，通过Ag纳米颗粒与ZnO之间形成表面等离子共振产生强烈的光吸收。该制备方法简单，成本低，可操作性强；并且采用打印方式形成ITO沟槽，与传统的图形化光刻与酸腐蚀导电层方法制作电极图形的方法相比，不会造成大量腐蚀液排放污染。
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公开(公告)号：CN107768458B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201711033313.7
申请日：2017-10-30
Applicant: 河南科技大学
IPC: H01L31/0236 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供了一种半导体器件的制备方法，所述制备方法包括以下步骤，A对ITO透明导电衬底进行预处理；B在ITO透明导电衬底的透明导电膜上形成沟槽；C采用去离子水冲洗形成沟槽的混合溶液，并氮气吹干所述衬底；D、继续将衬底置于打印平台上，在所述沟槽位置打印氧化锌墨水；E、最后置于保护性气氛中于300℃进行热退火，完成器件制备。本发明的制备方法简单，成本低，可操作性强；并且采用打印方式形成ITO沟槽，与传统的图形化光刻与酸腐蚀导电层方法制作电极图形的方法相比，不会造成大量腐蚀液排放污染。
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公开(公告)号：CN107768458A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201711033313.7
申请日：2017-10-30
Applicant: 河南科技大学
IPC: H01L31/0236 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供了一种半导体器件的制备方法，所述制备方法包括以下步骤，A对ITO透明导电衬底进行预处理；B在ITO透明导电衬底的透明导电膜上形成沟槽；C采用去离子水冲洗形成沟槽的混合溶液，并氮气吹干所述衬底；D、继续将衬底置于打印平台上，在所述沟槽位置打印氧化锌墨水；E、最后置于保护性气氛中于300℃进行热退火，完成器件制备。本发明的制备方法简单，成本低，可操作性强；并且采用打印方式形成ITO沟槽，与传统的图形化光刻与酸腐蚀导电层方法制作电极图形的方法相比，不会造成大量腐蚀液排放污染。
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