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公开(公告)号：CN201144276Y
公开(公告)日：2008-11-05
申请号：CN200720117837.X
申请日：2007-12-28
Applicant: 沈阳市北宇真空设备厂 , 哈尔滨工业大学
IPC: C23C14/24
Abstract: 一种等离子体蒸发镀膜机，它涉及一种真空镀膜机。针对现有蒸发镀膜机镀膜质量难以保证的问题。本实用新型的进气管(2)的一端装在镀膜真空室体(1)内，镀膜真空室体(1)侧壁上设有室门(3)，泵组(4)装在镀膜真空室体(1)上，转台装置(5)装在镀膜真空室体(1)内，转动机构(8)与转轴(6)连接，转轴(6)与转台装置(5)固接，转轴(6)与匹配箱(10)和射频等离子体电源(9)连接，转台装置(5)上固装有具有工件支架功能的射频天线(12)，蒸发源电极(14)装在镀膜真空室体(1)的中间，蒸发源电极(14)之间设置电热丝(15)，电热丝(15)内放置有金属条或金属棒材(16)，电极电缆(19)的两端分别与蒸发电源(13)和蒸发源电极(14)固接。本实用新型可大大提高等离子体利用率、镀膜效率和膜层质量。
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