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实用新型
一种光刻版保护膜贴膜治具有权

公开(公告)号：CN222116055U

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202420754611.4

申请日：2024-04-12

Applicant: 江苏芯德半导体科技股份有限公司

Inventor： 蒋志强 , 张文龙

IPC: B29C63/02 , B25B11/02

Abstract: 本发明的一种光刻版保护膜贴膜治具，包括底托和盖板；底托的顶面设有保护膜槽，环保护膜槽，底托的顶面设有若干用于限位光刻版的限位柱和若干弹簧柱，弹簧柱用于顶撑光刻版；盖板的底面设有若干对应弹簧柱的受力柱。通过保护膜槽限定待贴的保护膜，通过限位柱定位待贴膜的光刻版，利用弹簧柱弹性的压合光刻版，使光刻版与保护膜有效贴合并便于光刻板的取出。其提高了光刻版的贴膜效率和准确率，提高光刻版的使用率，解决产线因光刻版外送贴膜造成的产能和时间损失，满足产线产能要求，具有很强的实用性和广泛地适用性。

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