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公开(公告)号：CN222036127U
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202420565134.7
申请日：2024-03-22
Applicant: 江苏芯德半导体科技股份有限公司
Abstract: 本发明的适用于等离子清洗机的防电弧产生装置，包括罩覆载片台的密闭腔室，于所述腔室内设有通过升降杆悬置于载片台顶部的压环，所述压环用于环压置于载片台上的待加工的圆片。通过压环环压圆片，使得圆片边缘与载片台之间的间隙减小或直接贴合，从而防止电弧放电现象的产生。该装置可以让机台兼容翘曲度在5mm以内的圆片，支持机台连续自动作业，有效提高机台在作业翘曲片时的生产效率，具有很强的实用性和广泛地适用性。
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