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公开(公告)号：CN222015351U
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202323575466.8
申请日：2023-12-27
Applicant: 江苏芯德半导体科技股份有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本实用新型公开了一种能够预防回流偏移的回流机，包括若干根步梁：所述回流机内部依次设置若干个温区，每个温区对应设置一个热板；各热板均匀间隔设置；各热板上均平行设有若干个传送轨道槽；相邻的热板上的传送轨道槽一一对应；若干根步梁分别设置在对应的传送轨道槽内且可沿传送轨道槽长度方向移动；所述步梁的截面为椭圆形；每个步梁的一侧椭圆形端面上偏心位置上安装有翻转轴；各步梁可随对应的翻转轴转动；所述步梁上间隔设置焊接固定块，该焊接固定块呈半椭球状。本实用新型能够解决了晶圆回流不充分的技术问题。
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