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公开(公告)号：CN119082718A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411226071.3
申请日：2024-09-03
Applicant: 江苏芯德半导体科技股份有限公司
IPC: C23C22/52
Abstract: 本发明提供了一种提升铜材抗氧化性能的钝化液，该钝化液的组分为：甲基苯并三氮唑1‑5g/L，聚天冬氨酸钠0.1‑0.5g/L，氧化剂5‑10g/L，复配表面活性剂0.2‑1.0g/L，余量为去离子水。本发明还将上述钝化液应用在铜材上。通过本发明的钝化液进行钝化过的铜材，能有效抑制铜材表面的腐蚀与氧化，提升铜材表面的抗氧化性能和防变色性能。
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