公开(公告)号：CN222524713U

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202420501114.3

申请日：2024-03-15

Applicant: 江苏芯德半导体科技股份有限公司

Inventor： 陈旻哲 ,  朱孔明 ,  刘金凡

IPC: C25D17/00

Abstract: 本发明的电镀机卡盘导向柱，包括呈弧形且互成镜像的上梁和下梁、一对呈弧形梁柱；梁柱对称的置于上梁和下梁之间，并分别置于两侧；梁柱的上端分别固接上梁，下端分别固接下梁；于梁柱间，上梁和下梁分别设有螺孔，上梁的螺孔用于固接钢板，下梁的螺孔用于固接卡盘。一体式结构的导向柱，导向部分平整光滑，使得盖板下压动作摩擦小，动作更平滑，更好的避免了晶圆受到集中应力。一体式结构还省去包边以及包边螺丝，减少备件，保养拆卸更简单方便，提升工作效率；避免频繁拆卸导致螺丝断裂、滑牙问题，包边和螺丝是水平方向固定的，简化后既减少操作时螺丝脱落污染镀液、又避免了高速旋转包边和螺丝掉落问题，具有很强的实用性和广泛地适用性。

公开(公告)号：CN221890484U

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202420378456.0

申请日：2024-02-29

Applicant: 江苏芯德半导体科技股份有限公司

Inventor： 朱孔明 ,  陈旻哲 ,  刘金凡

IPC: B08B3/02 ,  B08B3/10

Abstract: 本发明提供一种挂镀式电镀机清洗槽，属于半导体封装技术领域，包括槽体、进水装置、排水装置以及喷淋装置，进水装置设置在槽体的侧边，排水装置设置在槽体的底部，喷淋装置设置在槽体的内部，还包括设置在槽体两侧的直线电机，直线电机的输出端连接有喷淋装置的移动部，移动部包括两条平行设置的移动杆，两条移动杆之间均匀设置有一组喷淋杆，喷淋杆的杆壁上设置有一组喷嘴，喷淋杆与进水装置连通；本发明通过直线电机带动喷淋装置在槽体内部上下移动，可以对晶圆表面进行全覆盖清洗，提高清洗效率，节约清洗用水。