公开(公告)号：CN118398515B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410854311.8

申请日：2024-06-28

Applicant: 江苏永鼎股份有限公司

Inventor： 张国栋 ,  周莉 ,  章贝琦 ,  王俊裴

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88 ,  G01N21/01 ,  G06T7/00 ,  G06T7/40 ,  G06T7/60

Abstract: 本发明属于刻蚀工艺监管技术领域，具体是一种GaAs刻蚀工艺的检测工艺及检测系统，其中，该检测系统包括智能控制平台、光源模块、高精度摄像模块、图像处理分析模块和显示模块；本发明通过光源模块照亮待检测的GaAs刻蚀产品的表面，高精度摄像模块捕获GaAs刻蚀产品的表面图像，图像处理分析模块通过特定的算法对图像进行精确处理和分析，显示模块对相应GaAs刻蚀产品的处理分析信息进行显示，能够满足GaAs刻蚀工艺检测的高精度和高效率要求，且能够对所有刻蚀设备和产生的所有刻蚀缺陷进行分析并准确划分，有利于管理人员合理作出相应改善措施，有效保证GaAs刻蚀的刻蚀效果，智能化和自动化水平高。

公开(公告)号：CN118398515A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410854311.8

申请日：2024-06-28

Applicant: 江苏永鼎股份有限公司

Inventor： 张国栋 ,  周莉 ,  章贝琦 ,  王俊裴

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88 ,  G01N21/01 ,  G06T7/00 ,  G06T7/40 ,  G06T7/60

Abstract: 本发明属于刻蚀工艺监管技术领域，具体是一种GaAs刻蚀工艺的检测工艺及检测系统，其中，该检测系统包括智能控制平台、光源模块、高精度摄像模块、图像处理分析模块和显示模块；本发明通过光源模块照亮待检测的GaAs刻蚀产品的表面，高精度摄像模块捕获GaAs刻蚀产品的表面图像，图像处理分析模块通过特定的算法对图像进行精确处理和分析，显示模块对相应GaAs刻蚀产品的处理分析信息进行显示，能够满足GaAs刻蚀工艺检测的高精度和高效率要求，且能够对所有刻蚀设备和产生的所有刻蚀缺陷进行分析并准确划分，有利于管理人员合理作出相应改善措施，有效保证GaAs刻蚀的刻蚀效果，智能化和自动化水平高。